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          攝影電影;光學(xué)設(shè)備的制造及其處理,應(yīng)用技術(shù)
          • 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種雙DMD提高激光投影色彩對(duì)比度的消散斑投影結(jié)構(gòu),包括沿光線傳播方向依次設(shè)置有光源裝置、合束系統(tǒng)、勻光消散斑系統(tǒng)、DMD、DMD時(shí)序控制裝置和投影輸出鏡頭,DMD上還設(shè)置有用于對(duì)其施加振動(dòng)的壓電振動(dòng)臺(tái);光源裝置,用于向合束...
          • 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種基于超表面的太赫茲計(jì)算全息圖像的分析方法及其系統(tǒng),基于超表面的太赫茲計(jì)算全息圖像的分析方法包括以下步驟:基于原始圖像,通過(guò)傳輸調(diào)控形成第一全息圖像;基于原始圖像,通過(guò)幾何相位調(diào)控形成第二全息圖像;基于原始圖像,通過(guò)傳輸調(diào)控與...
          • 本發(fā)明涉及LDI曝光機(jī)對(duì)位精度技術(shù)領(lǐng)域,具體公開(kāi)了一種基于多模態(tài)形變場(chǎng)分析的LDI曝光機(jī)光路變形監(jiān)測(cè)方法,包括:獲取基板多模態(tài)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù),其中,所述基板多模態(tài)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)包括基板基準(zhǔn)點(diǎn)陣列數(shù)據(jù)、復(fù)合標(biāo)定圖案、近紅外圖像、光柵溫度場(chǎng)分布數(shù)據(jù)和振動(dòng)頻...
          • 本申請(qǐng)實(shí)施例涉及投影儀技術(shù)領(lǐng)域,公開(kāi)了一種光機(jī)和投影儀,該光機(jī)包括:光源組件,光源組件包括前菲鏡和后菲鏡;鏡頭組件,用于折射從光源組件處射入的光線;前菲鏡設(shè)于鏡頭組件和后菲鏡之間;優(yōu)選地,前菲鏡和后菲鏡之間形成有通風(fēng)通道,光機(jī)還包括:殼體,...
          • 本申請(qǐng)?zhí)峁﹥?yōu)化OPC計(jì)算收斂速度方法、裝置、介質(zhì)、程序產(chǎn)品及終端,通過(guò)識(shí)別密集圖形區(qū)域,在該區(qū)域內(nèi)選定特征區(qū)域,首先對(duì)特征區(qū)域內(nèi)的基本單元進(jìn)行迭代計(jì)算至收斂,獲得初步優(yōu)化參數(shù),并將該參數(shù)推廣應(yīng)用于整個(gè)特征區(qū)域。隨后,以初步優(yōu)化參數(shù)為起點(diǎn),對(duì)...
          • 本申請(qǐng)涉及光刻機(jī)控制技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種半導(dǎo)體光刻設(shè)備的校準(zhǔn)方法及校準(zhǔn)系統(tǒng)。其中,校準(zhǔn)方法包括以下步驟:在柔性襯底的背面投影光柵校準(zhǔn)圖案,采集得到襯底背面圖像;通過(guò)相位解包裹算法確定所述襯底背面圖像上各個(gè)像素點(diǎn)的深度值;獲取柔性襯底正面的...
          • 本發(fā)明提供了一種感光性樹(shù)脂組合物、濾光片及應(yīng)用。該感光性樹(shù)脂組合物包括:光聚合性化合物、具有肟酯類光引發(fā)劑和接枝有硅烷基側(cè)鏈的堿可溶性樹(shù)脂,其中,接枝有硅烷基側(cè)鏈的堿可溶性樹(shù)脂的重均分子量為5000~30000,酸值為50~200mgKOH...
          • 帶抖動(dòng)修正功能的光學(xué)單元具有:第一擺動(dòng)支撐機(jī)構(gòu)(6),其以沿著反射面(30)的第一軸為中心可擺動(dòng)地支撐反射部件(3);中間可動(dòng)體(4),其經(jīng)由第一擺動(dòng)支撐機(jī)構(gòu)支撐反射部件;第一擺動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(11);第二擺動(dòng)支撐機(jī)構(gòu)(7),其以第二軸為中心可...
          • 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種改善鏡筒通光孔成型雜光的結(jié)構(gòu),涉及通光孔成型領(lǐng)域,包括鏡筒、第一遮光鏡片、第二遮光鏡片和第三遮光鏡片,所述第二遮光鏡片固定設(shè)置于第一光學(xué)鏡和左側(cè)第二光學(xué)鏡之間,所述第三遮光鏡片固定設(shè)置于右側(cè)兩個(gè)第二光學(xué)鏡之間。本實(shí)用新型...
          • 一種OPC模型及其建立方法和系統(tǒng)、OPC方法、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì),建立方法包括:提供測(cè)試圖形;根據(jù)測(cè)試圖形獲得測(cè)試光罩;對(duì)測(cè)試光罩進(jìn)行實(shí)際曝光,獲得實(shí)際曝光圖形;利用初始光學(xué)鄰近修正模型對(duì)測(cè)試圖形進(jìn)行模擬曝光,獲得模擬曝光圖形,模擬曝光包括:對(duì)...
          • 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種投影設(shè)備及投影屏幕,屬于投影技術(shù)領(lǐng)域。該投影設(shè)備包括:光學(xué)引擎和投影屏幕,光學(xué)引擎用于出射光束,投影屏幕包括光學(xué)膜片、可卷曲基板和控制機(jī)構(gòu);光學(xué)膜片粘接在可卷曲基板上;可卷曲基板上遠(yuǎn)離光學(xué)膜片的一側(cè)設(shè)置有加多個(gè)加強(qiáng)筋,每個(gè)加...
          • 本發(fā)明涉及一種照明系統(tǒng),包括第一光源裝置用以提供第一、第二、第三光束以及第一補(bǔ)償光束。第二光源裝置用以提供第四、第五、第六光束以及第二補(bǔ)償光束。第一極化元件配置于第一光束以及第一補(bǔ)償光束的傳遞路徑上。第二極化元件配置于第四光束以及第二補(bǔ)償光...
          • 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種實(shí)現(xiàn)高光效高色域投影的光機(jī)結(jié)構(gòu),其特征在于,包括第一光源、第二光源、第三光源、第一準(zhǔn)直組件、第二準(zhǔn)直組件、第三準(zhǔn)直組件、第一黑白屏、第二黑白屏、第三黑白屏、第一熒光粉片、第二熒光粉片、合光組件和投影鏡頭,第一光源、第二光源和...
          • 傳感器模塊具備:殼體,其沿第1方向延伸且具有筒形狀;芯構(gòu)件,其配置在所述殼體內(nèi),沿第1方向延伸且具有第1外周面;以及中間層,其配置在殼體與芯構(gòu)件之間,沿第1方向延伸且具有第2外周面,中間層與殼體接觸,中間層包含傳感器和第1構(gòu)件,傳感器固定于...
          • 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種照明系統(tǒng)和激光投影設(shè)備,屬于激光技術(shù)領(lǐng)域。照明系統(tǒng)包括照明組件和鏡頭組件;照明組件包括沿照明組件的光路方向依次設(shè)置的透鏡組件、反向全內(nèi)反射棱鏡和光閥,透鏡組件將接收到的光束導(dǎo)向反向全內(nèi)反射棱鏡,并由反向全內(nèi)反射棱鏡輸出至光閥...
          • 本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,公開(kāi)了一種固定裝置和半導(dǎo)體設(shè)備。本申請(qǐng)實(shí)施例的固定裝置,包括夾持組件,夾持組件用于夾持掩模版或晶圓;支撐組件,支撐組件用于沿第一方向支撐掩模版或晶圓,以及用于調(diào)節(jié)掩模版或晶圓與第一平面之間的夾角,其中,第一平面...
          • 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種柔性暖杯墊,包括加熱件、導(dǎo)熱件和底座,所述加熱件、導(dǎo)熱件以及底座均為柔性結(jié)構(gòu),所述加熱件容納于導(dǎo)熱件以及底座之間,所述導(dǎo)熱件與底座之間相互嵌入固定。本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理,具有如下的有益效果:暖杯墊中的加熱件、導(dǎo)熱件以...
          • 本發(fā)明公開(kāi)了一種光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)控制方法、裝置、設(shè)備及介質(zhì),該方法包括:分別對(duì)光刻機(jī)的硅片載物臺(tái)和光罩版載物臺(tái)對(duì)應(yīng)的任務(wù)列表進(jìn)行任務(wù)初始化,確定第一任務(wù)列表和第二任務(wù)列表;并行執(zhí)行第一任務(wù)列表中的硅片上片任務(wù)和第二任務(wù)列表中的光罩版上版任務(wù);基于...
          • 本發(fā)明提供一種提升光學(xué)鄰近效應(yīng)修正處理效率的方法,提供原始版圖,獲取原始版圖中的錯(cuò)誤標(biāo)記圖形;形成覆蓋每個(gè)錯(cuò)誤標(biāo)記圖形的第一區(qū)域圖形,第一區(qū)域圖形為覆蓋每個(gè)錯(cuò)誤標(biāo)記圖圖形的區(qū)域,第一區(qū)域圖形與錯(cuò)誤標(biāo)記圖形間的位置差小于或等于第一設(shè)計(jì)值;放大...
          • 公開(kāi)了一種驅(qū)動(dòng)組件和可變焦攝像模組,其中,所述驅(qū)動(dòng)組件中用于引導(dǎo)載體移動(dòng)的引導(dǎo)裝置由特殊材料制成以與磁吸構(gòu)件相配合產(chǎn)生使得所述引導(dǎo)裝置被定位地保持于預(yù)設(shè)位置的磁吸作用力,這樣所述引導(dǎo)裝置能夠在平穩(wěn)地引導(dǎo)鏡頭載體的移動(dòng)。
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