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                  		攝影電影;光學(xué)設(shè)備的制造及其處理,應(yīng)用技術(shù)
                  	
                  
          
                
          
                
          
                    
            
					
						
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								      本發(fā)明的一種非迭代菲涅耳純相位全息圖生成和復(fù)用方法、設(shè)備及介質(zhì)，包括以下步驟，首先，利用迭代菲涅爾方法生成不同平面的FS?OFRAPs，再結(jié)合3D物體分層策略非迭代生成不同層對應(yīng)的全息圖，通過疊加或復(fù)用得到最終的相位全息圖，最后將復(fù)用后的全...
								
            
							
            
							
						
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								      本實用新型公開了一種雙DMD提高激光投影色彩對比度的消散斑投影結(jié)構(gòu)，包括沿光線傳播方向依次設(shè)置有光源裝置、合束系統(tǒng)、勻光消散斑系統(tǒng)、DMD、DMD時序控制裝置和投影輸出鏡頭，DMD上還設(shè)置有用于對其施加振動的壓電振動臺；光源裝置，用于向合束...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請公開了一種基于超表面的太赫茲計算全息圖像的分析方法及其系統(tǒng)，基于超表面的太赫茲計算全息圖像的分析方法包括以下步驟：基于原始圖像，通過傳輸調(diào)控形成第一全息圖像；基于原始圖像，通過幾何相位調(diào)控形成第二全息圖像；基于原始圖像，通過傳輸調(diào)控與...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明涉及LDI曝光機對位精度技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種基于多模態(tài)形變場分析的LDI曝光機光路變形監(jiān)測方法，包括：獲取基板多模態(tài)監(jiān)測數(shù)據(jù)，其中，所述基板多模態(tài)監(jiān)測數(shù)據(jù)包括基板基準(zhǔn)點陣列數(shù)據(jù)、復(fù)合標(biāo)定圖案、近紅外圖像、光柵溫度場分布數(shù)據(jù)和振動頻...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請實施例涉及投影儀技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種光機和投影儀，該光機包括：光源組件，光源組件包括前菲鏡和后菲鏡；鏡頭組件，用于折射從光源組件處射入的光線；前菲鏡設(shè)于鏡頭組件和后菲鏡之間；優(yōu)選地，前菲鏡和后菲鏡之間形成有通風(fēng)通道，光機還包括：殼體，...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請?zhí)峁﹥?yōu)化OPC計算收斂速度方法、裝置、介質(zhì)、程序產(chǎn)品及終端，通過識別密集圖形區(qū)域，在該區(qū)域內(nèi)選定特征區(qū)域，首先對特征區(qū)域內(nèi)的基本單元進行迭代計算至收斂，獲得初步優(yōu)化參數(shù)，并將該參數(shù)推廣應(yīng)用于整個特征區(qū)域。隨后，以初步優(yōu)化參數(shù)為起點，對...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請涉及光刻機控制技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體光刻設(shè)備的校準(zhǔn)方法及校準(zhǔn)系統(tǒng)。其中，校準(zhǔn)方法包括以下步驟：在柔性襯底的背面投影光柵校準(zhǔn)圖案，采集得到襯底背面圖像；通過相位解包裹算法確定所述襯底背面圖像上各個像素點的深度值；獲取柔性襯底正面的...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明提供了一種感光性樹脂組合物、濾光片及應(yīng)用。該感光性樹脂組合物包括：光聚合性化合物、具有肟酯類光引發(fā)劑和接枝有硅烷基側(cè)鏈的堿可溶性樹脂，其中，接枝有硅烷基側(cè)鏈的堿可溶性樹脂的重均分子量為5000～30000，酸值為50～200mgKOH...
								
            
							
            
							
						
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								      帶抖動修正功能的光學(xué)單元具有：第一擺動支撐機構(gòu)(6)，其以沿著反射面(30)的第一軸為中心可擺動地支撐反射部件(3)；中間可動體(4)，其經(jīng)由第一擺動支撐機構(gòu)支撐反射部件；第一擺動驅(qū)動機構(gòu)(11)；第二擺動支撐機構(gòu)(7)，其以第二軸為中心可...
								
            
							
            
							
						
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								      本實用新型公開了一種改善鏡筒通光孔成型雜光的結(jié)構(gòu)，涉及通光孔成型領(lǐng)域，包括鏡筒、第一遮光鏡片、第二遮光鏡片和第三遮光鏡片，所述第二遮光鏡片固定設(shè)置于第一光學(xué)鏡和左側(cè)第二光學(xué)鏡之間，所述第三遮光鏡片固定設(shè)置于右側(cè)兩個第二光學(xué)鏡之間。本實用新型...
								
            
							
            
							
						
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								      一種OPC模型及其建立方法和系統(tǒng)、OPC方法、設(shè)備及存儲介質(zhì)，建立方法包括：提供測試圖形；根據(jù)測試圖形獲得測試光罩；對測試光罩進行實際曝光，獲得實際曝光圖形；利用初始光學(xué)鄰近修正模型對測試圖形進行模擬曝光，獲得模擬曝光圖形，模擬曝光包括：對...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請公開了一種投影設(shè)備及投影屏幕，屬于投影技術(shù)領(lǐng)域。該投影設(shè)備包括：光學(xué)引擎和投影屏幕，光學(xué)引擎用于出射光束，投影屏幕包括光學(xué)膜片、可卷曲基板和控制機構(gòu)；光學(xué)膜片粘接在可卷曲基板上；可卷曲基板上遠離光學(xué)膜片的一側(cè)設(shè)置有加多個加強筋，每個加...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明涉及一種照明系統(tǒng)，包括第一光源裝置用以提供第一、第二、第三光束以及第一補償光束。第二光源裝置用以提供第四、第五、第六光束以及第二補償光束。第一極化元件配置于第一光束以及第一補償光束的傳遞路徑上。第二極化元件配置于第四光束以及第二補償光...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請公開了一種實現(xiàn)高光效高色域投影的光機結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括第一光源、第二光源、第三光源、第一準(zhǔn)直組件、第二準(zhǔn)直組件、第三準(zhǔn)直組件、第一黑白屏、第二黑白屏、第三黑白屏、第一熒光粉片、第二熒光粉片、合光組件和投影鏡頭，第一光源、第二光源和...
								
            
							
            
							
						
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								      傳感器模塊具備：殼體，其沿第1方向延伸且具有筒形狀；芯構(gòu)件，其配置在所述殼體內(nèi)，沿第1方向延伸且具有第1外周面；以及中間層，其配置在殼體與芯構(gòu)件之間，沿第1方向延伸且具有第2外周面，中間層與殼體接觸，中間層包含傳感器和第1構(gòu)件，傳感器固定于...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請公開了一種照明系統(tǒng)和激光投影設(shè)備，屬于激光技術(shù)領(lǐng)域。照明系統(tǒng)包括照明組件和鏡頭組件；照明組件包括沿照明組件的光路方向依次設(shè)置的透鏡組件、反向全內(nèi)反射棱鏡和光閥，透鏡組件將接收到的光束導(dǎo)向反向全內(nèi)反射棱鏡，并由反向全內(nèi)反射棱鏡輸出至光閥...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種固定裝置和半導(dǎo)體設(shè)備。本申請實施例的固定裝置，包括夾持組件，夾持組件用于夾持掩模版或晶圓；支撐組件，支撐組件用于沿第一方向支撐掩模版或晶圓，以及用于調(diào)節(jié)掩模版或晶圓與第一平面之間的夾角，其中，第一平面...
								
            
							
            
							
						
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								      本實用新型公開了一種柔性暖杯墊，包括加熱件、導(dǎo)熱件和底座，所述加熱件、導(dǎo)熱件以及底座均為柔性結(jié)構(gòu)，所述加熱件容納于導(dǎo)熱件以及底座之間，所述導(dǎo)熱件與底座之間相互嵌入固定。本實用新型的結(jié)構(gòu)設(shè)計合理，具有如下的有益效果：暖杯墊中的加熱件、導(dǎo)熱件以...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明公開了一種光刻機對準(zhǔn)控制方法、裝置、設(shè)備及介質(zhì)，該方法包括：分別對光刻機的硅片載物臺和光罩版載物臺對應(yīng)的任務(wù)列表進行任務(wù)初始化，確定第一任務(wù)列表和第二任務(wù)列表；并行執(zhí)行第一任務(wù)列表中的硅片上片任務(wù)和第二任務(wù)列表中的光罩版上版任務(wù)；基于...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明提供一種提升光學(xué)鄰近效應(yīng)修正處理效率的方法，提供原始版圖，獲取原始版圖中的錯誤標(biāo)記圖形；形成覆蓋每個錯誤標(biāo)記圖形的第一區(qū)域圖形，第一區(qū)域圖形為覆蓋每個錯誤標(biāo)記圖圖形的區(qū)域，第一區(qū)域圖形與錯誤標(biāo)記圖形間的位置差小于或等于第一設(shè)計值；放大...
								
            
							
            
							
						
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