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龍圖騰網獲悉江蘇新智達新能源設備有限公司申請的專利一種晶圓用自動安裝裝置的晶圓旋轉機構獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN118448336B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202410588421.4，技術領域涉及：H01L21/687；該發明授權一種晶圓用自動安裝裝置的晶圓旋轉機構是由向軍設計研發完成，并于2019-03-18向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓用自動安裝裝置的晶圓旋轉機構在說明書摘要公布了：本發明涉及一種晶圓用自動安裝裝置的晶圓旋轉機構，包括平板，所述平板的上端面上固定連接有晶圓旋轉機構、晶圓抓取機構以及石墨盤移動機構，所述晶圓抓取機構設置在晶圓旋轉機構與石墨盤移動機構之間；所述晶圓抓取機構適于將晶圓旋轉機構上的晶圓抓取至石墨盤移動機構的石墨盤上。通過晶圓抓取機構將晶圓旋轉機構上的晶圓抓取至石墨盤移動機構的石墨盤上，以實現生產的自動化，從而提高生產速度，節省人力物力的效果。

本發明授權一種晶圓用自動安裝裝置的晶圓旋轉機構在權利要求書中公布了：1.一種晶圓用自動安裝裝置的晶圓旋轉機構，固定設置在平板（1）的上端面上，其特征在于：所述晶圓旋轉機構（2）包括晶圓旋轉支撐板（21），所述晶圓旋轉支撐板（21）的下端安裝在平板（1）上； 所述晶圓旋轉支撐板（21）上開設有旋轉孔（211），所述旋轉孔（211）內設有固定環（22），所述固定環（22）的下端轉動連接在晶圓旋轉支撐板（21）的旋轉孔（211）內，所述固定環（22）的上端固定連接有半圓形擋板（221）以及彈簧座（23），所述半圓形擋板（221）的側壁面與固定環（22）的上端面之間形成L形支撐槽，所述彈簧座（23）與支撐槽之間形成用于放置晶圓的擴晶環（5）的夾緊區； 所述彈簧座（23）的下端固定連接在固定環（22）的上端面上，所述彈簧座（23）的左右兩端分別轉動連接有夾抓（231），所述夾抓（231）包括夾手端以及頂緊端，所述彈簧座（23）上的彈簧頂緊在夾抓（231）的頂緊端上，并使夾抓（231）的夾手端將擴晶環（5）夾緊在夾緊區內； 所述晶圓旋轉支撐板（21）的上設有第一氣缸（24），所述第一氣缸（24）的缸體固定連接在晶圓旋轉支撐板（21）的上端面上，所述第一氣缸（24）的推桿頂緊在兩個夾抓（231）的頂緊端上，并使夾抓（231）的夾手端脫離擴晶環（5）； 所述晶圓旋轉支撐板（21）上設有換位電機（25），所述換位電機（25）的法蘭端固定連接在晶圓旋轉支撐板（21）的下端面上，所述換位電機（25）的輸出軸從晶圓旋轉支撐板（21）中穿過； 所述固定環（22）的外側面上開設有環形齒，所述環形齒上嚙合有傳動皮帶（26），所述換位電機（25）的輸出軸上固定連接有輸出齒輪（251），所述輸出齒輪（251）與所述傳動皮帶（26）相嚙合，且所述換位電機（25）經傳動皮帶（26）帶動固定環（22）在晶圓旋轉支撐板（21）的旋轉孔（211）內轉動； 所述平板（1）的上端面上固定連接有第一滑臺底板（27），所述第一滑臺底板（27）上設有第一絲桿（271）以及用于帶動第一絲桿（271）轉動的第一電機（272），所述第一電機（272）的法蘭端固定連接在第一滑臺底板（27）的側壁面上，所述第一電機（272）的輸出軸固定連接在第一絲桿（271）上； 所述第一絲桿（271）上螺紋連接有可在第一滑臺底板（27）上左右滑動的第一螺母（273），所述第一螺母（273）固定連接在第二滑臺底板（28）的下端面，且所述第一電機（272）帶動第一絲桿（271）轉動以使第二滑臺底板（28）在平板（1）的上方左右移動； 所述第二滑臺底板（28）上設有第二絲桿（281）以及用于帶動第二絲桿（281）轉動的第二電機（282），所述第二電機（282）的法蘭端固定連接在第二滑臺底板（28）的側壁面上，所述第二電機（282）的輸出軸固定連接在第二絲桿（281）上； 所述第二絲桿（281）上螺紋連接有可在第二滑臺底板（28）上左右滑動的第二螺母（283），所述第二螺母（283）固定連接在晶圓旋轉支撐板（21）的下端面上，且所述第二電機（282）帶動第二絲桿（281）轉動以使晶圓旋轉支撐板（21）在平板（1）的上方前后移動； 所述晶圓旋轉支撐板（21）上設有用于將擴晶環（5）上的晶圓頂起的頂升機構（6）； 所述頂升機構（6）包括調節座（61）以及頂升電機（62），所述調節座（61）的下端面固定連接在平板（1）的上端面，所述頂升電機（62）的法蘭端固定連接在調節座（61）上，所述頂升電機（62）的輸出軸上固定連接有偏心軸（63），所述偏心軸（63）上套設有偏心環（631）； 所述調節座（61）的上設有頂升座（64），所述頂升座（64）的下端固定連接在調節座（61）的上端，所述頂升座（64）的上端設有可上下滑動的頂針帽（641），所述頂升座（64）上開設有上下貫穿的通孔，所述通孔內滑動連接有心軸（642），所述心軸（642）的上端頂緊在頂針帽（641）上，所述心軸（642）的下端固定連接有用于與偏心環（631）相配合的裝快（65），所述心軸（642）的下端套設有復位彈簧（643），所述復位彈簧（643）的下端頂緊在裝快（65）上，所述復位彈簧（643）的上端頂緊在頂升座（64）的通孔內，所述裝快（65）上開設有滑孔，所述滑孔內滑動連接有導向桿（66），所述導向桿（66）的上端固定連接在頂升座（64）上，且所述頂升電機（62）帶動偏心環（631）轉動以使心軸（642）帶動頂針帽（641）上下移動。

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