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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京理工大學(xué)申請(qǐng)的專利大線性響應(yīng)范圍橫向差動(dòng)共焦傳感測(cè)量方法及裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN118961154B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202411059086.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01M11/02；該發(fā)明授權(quán)大線性響應(yīng)范圍橫向差動(dòng)共焦傳感測(cè)量方法及裝置是由趙維謙;邱麗榮設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-08-02向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本大線性響應(yīng)范圍橫向差動(dòng)共焦傳感測(cè)量方法及裝置在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明涉及光學(xué)精密測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種大線性響應(yīng)范圍橫向差動(dòng)共焦傳感測(cè)量方法及裝置，該方法在傳統(tǒng)的共焦探測(cè)光路中以光軸為分界線遮擋一半探測(cè)光束，將被測(cè)表面的離焦量變化轉(zhuǎn)為探測(cè)焦面上光斑橫向離軸變化的橫向差動(dòng)共焦TDC探測(cè)；然后通過(guò)探測(cè)器陣列分割探測(cè)焦面上的光斑，將探測(cè)的相鄰強(qiáng)度信號(hào)兩兩差動(dòng)相減得到多組歸一化TDC響應(yīng)曲線，并對(duì)其線性段進(jìn)行擬合拼接，得到具有大線性響應(yīng)區(qū)的差動(dòng)共焦特性曲線，在兼顧分辨力的同時(shí)實(shí)現(xiàn)了大范圍傳感測(cè)量。該方法可為精密元件面形、三維表面結(jié)構(gòu)等領(lǐng)域提供了高精度大范圍快速傳感掃描測(cè)量新方法。

本發(fā)明授權(quán)大線性響應(yīng)范圍橫向差動(dòng)共焦傳感測(cè)量方法及裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種大線性響應(yīng)范圍橫向差動(dòng)共焦傳感測(cè)量方法，其特征在于，所述方法包括： S1、構(gòu)建橫向差動(dòng)共焦檢測(cè)光路，其中所述橫向差動(dòng)共焦檢測(cè)光路基于共焦光路改進(jìn)獲得，共焦光路包括經(jīng)過(guò)物鏡匯聚的聚焦光束和經(jīng)過(guò)會(huì)聚鏡匯聚的探測(cè)光束，聚焦光束匯聚于被測(cè)表面，在會(huì)聚鏡和會(huì)聚鏡的探測(cè)焦平面之間以光軸為分界線遮擋一半探測(cè)光束，且探測(cè)焦平面處設(shè)置有基于光軸對(duì)稱的多個(gè)物理針孔，物理針孔后設(shè)置有多像元探測(cè)器，多像元探測(cè)器上的各個(gè)像元對(duì)照射到探測(cè)焦平面的光斑進(jìn)行分割檢測(cè)，以獲得橫向差動(dòng)共焦檢測(cè)光路； S2、獲取各個(gè)像元的光強(qiáng)響應(yīng)信號(hào)曲線，所述各個(gè)像元的光強(qiáng)響應(yīng)信號(hào)曲線用于表征各個(gè)像元的光強(qiáng)響應(yīng)信號(hào)與被測(cè)表面的離焦量的對(duì)應(yīng)關(guān)系，其中，所述被測(cè)表面的離焦量為被測(cè)表面與物鏡焦平面之間的距離； S3、對(duì)相鄰兩像元的光強(qiáng)響應(yīng)信號(hào)曲線進(jìn)行差動(dòng)相減歸一化處理，得到歸一化TDC響應(yīng)曲線： 其中，In為第n個(gè)像元的光強(qiáng)響應(yīng)信號(hào)曲線，IDn為第n個(gè)像元的歸一化TDC響應(yīng)曲線，所述歸一化TDC響應(yīng)曲線為歸一化橫向差動(dòng)共焦響應(yīng)曲線； S4、對(duì)各個(gè)像元的歸一化TDC響應(yīng)曲線選取擬合線性段并進(jìn)行擬合，以獲得歸一化TDC響應(yīng)擬合曲線，其中，第n個(gè)像元的擬合線性段的最小值對(duì)應(yīng)的軸向坐標(biāo)的數(shù)值與第n+1個(gè)像元的擬合線性段的最大值對(duì)應(yīng)的軸向坐標(biāo)的數(shù)值相等； S5、對(duì)任意兩個(gè)相鄰像元的歸一化TDC響應(yīng)擬合線性段進(jìn)行拼接，獲得大線性傳感區(qū)間響應(yīng)曲線，基于獲取到的不同像元的檢測(cè)光強(qiáng)響應(yīng)信號(hào)和所述大線性傳感區(qū)間的響應(yīng)曲線對(duì)被測(cè)表面進(jìn)行傳感測(cè)量，解算出被測(cè)表面相對(duì)于物鏡焦平面的離焦量。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人北京理工大學(xué)，其通訊地址為：100081 北京市海淀區(qū)中關(guān)村南大街5號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。