蘇州天準科技股份有限公司孫靖獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州天準科技股份有限公司申請的專利花籃循環供給的插片裝置和連續插片方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119297115B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202411382469.6,技術領域涉及:H01L21/67;該發明授權花籃循環供給的插片裝置和連續插片方法是由孫靖;王承平;徐偉鋒;熊勇;薛峰設計研發完成,并于2024-09-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本花籃循環供給的插片裝置和連續插片方法在說明書摘要公布了:本發明提供了一種花籃循環供給的插片裝置和連續插片方法,屬于硅片生產制造領域,插片裝置包括依次布置的分片模塊、抽片模塊、預分選插片輸送模塊和快速換籃模塊;在快速換籃模塊的下游并排的布置空花籃翻轉模塊和滿花籃翻轉輸送模塊,在空花籃翻轉模塊和滿花籃翻轉輸送模塊上方布置花籃吊裝模塊;快速換籃模塊的夾籃在換籃橫移模塊和換籃升降模塊的驅控下在轉運安裝立板的側面沿著口字形路徑移動;本裝置模塊化設計,便于實現并排多線設置,集成分片、抽片、預分選、插片、花籃循環供給和轉運等工位,保證了插片的成品率,并可以靈活控制輸送速率,保證了工藝節拍,提高了工作效率,便于在硅片等片材的檢測及生產加工領域推廣應用。
本發明授權花籃循環供給的插片裝置和連續插片方法在權利要求書中公布了:1.一種花籃循環供給的插片裝置,其特征在于:插片裝置包括依次橫向布置的分片模塊(100)、抽片模塊(200)、預分選插片輸送模塊(300)和快速換籃模塊(400);在快速換籃模塊(400)的下游并排的布置空花籃翻轉模塊(500)和滿花籃翻轉輸送模塊(600),在所述空花籃翻轉模塊(500)和滿花籃翻轉輸送模塊(600)上方布置花籃吊裝模塊(700); 其中,所述快速換籃模塊(400)包括兩組相對設置的轉運安裝立板(410)、換籃橫移模塊(420)、換籃升降模塊(430)和夾籃(440);所述換籃橫移模塊(420)安裝至所述轉運安裝立板(410)的側面上;所述夾籃(440)在所述換籃橫移模塊(420)和換籃升降模塊(430)的驅控下在所述轉運安裝立板(410)的側面沿著口字形路徑移動,實現空花籃沿橫向供給和滿花籃沿橫向退出的循環轉運; 空花籃翻轉模塊(500)包括花籃翻轉機構(510)、花籃翻轉傳輸機構(520)和花籃傳輸阻擋機構(530);所述花籃翻轉機構(510)設置在花籃翻轉傳輸機構(520)的一端,用于翻轉花籃;所述花籃翻轉傳輸機構(520)水平布置,用于水平傳送花籃;所述花籃傳輸阻擋機構(530)設置在花籃翻轉傳輸機構(520)的傳輸線上,用于花籃傳輸的阻擋控制; 花籃翻轉機構(510)包括翻轉軸模塊(511)、翻轉驅動模塊(512)、翻轉墊板組件(513)、翻轉背板組件(514)、翻轉上夾緊組件(515);翻轉墊板組件(513)的一端底部固定連接至所述翻轉軸模塊(511)上,所述翻轉背板組件(514)豎直的固定至所述翻轉墊板組件(513)上,在所述翻轉背板組件(514)的頂部和底部對應的設置翻轉上夾緊組件(515)和翻轉下夾緊組件(516),所述翻轉驅動模塊(512)連接至所述翻轉軸模塊(511)上或連接至所述翻轉背板組件(514)上。
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