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龍圖騰網獲悉無錫國悅電子科技有限公司申請的專利一種晶圓靜電吸盤獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223390532U 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422485610.7，技術領域涉及：H01L21/683；該實用新型一種晶圓靜電吸盤是由尹國君;楊占山設計研發完成，并于2024-10-15向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓靜電吸盤在說明書摘要公布了：本實用新型涉及靜電吸盤技術領域，具體涉及一種晶圓靜電吸盤，它包括靜電吸盤基板，所述靜電吸盤基板的頂部設有粘接盤，所述粘接盤的上方設有陶瓷盤，所述陶瓷盤通過粘接盤固定于靜電吸盤基板的上方，所述陶瓷盤與靜電吸盤基板的內部設有晶圓溫度控制模塊，所述晶圓溫度控制模塊包括冷卻孔與加熱孔，所述承接孔的內部設有可上下活動的承接頂針，所述陶瓷盤的上方還設有冷卻孔與加熱孔，所述冷卻孔與加熱孔沿陶瓷盤一周依次間隔設置分布，本實用新型通過在陶瓷絕緣層上均勻地設置加熱孔與冷卻孔，可有效控制晶圓與結緣層溫度。

本實用新型一種晶圓靜電吸盤在權利要求書中公布了：1.一種晶圓靜電吸盤，其特征在于：包括靜電吸盤基板（1），所述靜電吸盤基板（1）的頂部設有粘接盤（2），所述粘接盤（2）的上方設有陶瓷盤（3），所述陶瓷盤（3）通過粘接盤（2）固定于靜電吸盤基板（1）的上方，所述靜電吸盤基板（1）的內部設有靜電電極（4），所述陶瓷盤（3）與靜電吸盤基板（1）的內部設有晶圓溫度控制模塊，所述晶圓溫度控制模塊包括冷卻孔與加熱孔，所述冷卻孔與加熱孔設置于陶瓷盤（3）上方，所述冷卻孔與加熱孔沿陶瓷盤（3）一周依次間隔設置分布，所述冷卻孔的上端為冷卻出氣口（7），所述冷卻孔的孔腔自上而下連通至靜電吸盤基板（1）的下方位置，并且冷卻孔的下端為冷卻進氣口（8），所述加熱孔呈縱向方向分布于陶瓷盤（3）內部，所述加熱孔的上端為加熱出氣口（10），所述加熱孔的下端并未延伸至靜電吸盤基板（1）內部，所述陶瓷盤（3）的側壁處設有與加熱孔連通的加熱進氣口（9），加熱進氣口（9）的內部設有橫向延伸至加熱出氣口（10）位置的加熱孔腔，所述陶瓷盤（3）的表面還設有承接孔（5），所述承接孔（5）的內部設有可上下活動的承接頂針（6）。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人無錫國悅電子科技有限公司，其通訊地址為：214000 江蘇省無錫市新吳區菱湖大道228號天安智慧城3-606；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。