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          芯聯越州集成電路制造(紹興)有限公司黃國鵬獲國家專利權

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          龍圖騰網獲悉芯聯越州集成電路制造(紹興)有限公司申請的專利擴散爐裝置獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223386288U

          龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202422745110.2,技術領域涉及:C30B31/10;該實用新型擴散爐裝置是由黃國鵬;滿益亮;蔡萬和;關春龍設計研發完成,并于2024-11-11向國家知識產權局提交的專利申請。

          擴散爐裝置在說明書摘要公布了:本申請涉及一種擴散爐裝置,包括:內管體;外管體套裝所述內管體;法蘭件連接于所述外管體與所述內管體;噴嘴穿插于所述法蘭件,且其一端位于所述外管體的外部,另一端位于所述內管體的內腔;支撐組件連接于所述法蘭件,并位于所述噴嘴的底部,以對所述噴嘴進行支撐。本申請所提供的擴散爐裝置利用支撐組件連接于噴嘴的底部,以對噴嘴進行支撐,能夠大大減小噴嘴在運行過程中產生晃動情況,進而減少噴嘴與內管體內壁或晶舟外壁產生摩擦的情況,進一步大大減小因摩擦產生的顆粒對晶圓加工效果的影響。

          本實用新型擴散爐裝置在權利要求書中公布了:1.一種擴散爐裝置,其特征在于,包括: 內管體(10); 外管體(20),套裝所述內管體(10); 法蘭件(30),連接于所述外管體(20)與所述內管體(10); 噴嘴(40),穿插于所述法蘭件(30),且其一端位于所述外管體(20)的外部,另一端位于所述內管體(10)的內腔; 支撐組件(50),連接于所述法蘭件(30),并位于所述噴嘴(40)的底部,以對所述噴嘴(40)進行支撐; 其中,所述支撐組件(50)包括: 第一支撐件(510),其一端連接于所述噴嘴(40)的底部,另一端連接于所述法蘭件(30); 第一緊固件(520),插裝于所述第一支撐件(510)與所述法蘭件(30),以使得所述第一支撐件(510)連接于所述法蘭件(30)。

          如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人芯聯越州集成電路制造(紹興)有限公司,其通訊地址為:312000 浙江省紹興市越城區皋埠街道臨江路508號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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