上海宏軼電子科技有限公司黃運軍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海宏軼電子科技有限公司申請的專利一種晶圓傳輸翻轉機構獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223390521U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202422791275.3,技術領域涉及:H01L21/677;該實用新型一種晶圓傳輸翻轉機構是由黃運軍設計研發完成,并于2024-11-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓傳輸翻轉機構在說明書摘要公布了:一種晶圓傳輸翻轉機構,屬于晶圓生產輔助設備技術領域,包括PLC、旋轉氣缸、真空氣動吸盤、機架板,還具有位移機構和調節機構;調節機構包括直線滑軌、電動絲杠滑臺、伸縮氣缸,直線滑軌后側安裝在機架板前上端,電動絲杠滑臺后側端安裝在直線滑軌滑動塊前側;電動絲杠滑臺滑動塊前側端安裝滑臺伸縮氣缸,滑臺伸縮氣缸的活動柱外側安裝有連接板,連接板前側端安裝有軸承,旋轉氣缸安裝在連接板前側外端且其轉軸安裝在軸承的內圈內,旋轉氣缸的轉軸位于連接板內側端位置安裝有固定板,真空氣動吸盤安裝在固定板的下端;位移機構安裝在機架板下端。本新型能通過真空吸盤吸附金屬環圈側端、并對其進行翻面后,自動運輸到下一工序進行加工。
本實用新型一種晶圓傳輸翻轉機構在權利要求書中公布了:1.一種晶圓傳輸翻轉機構,包括PLC、旋轉氣缸、真空氣動吸盤、機架板,其特征在于,還具有位移機構和調節機構;所述調節機構包括直線滑軌、電動絲杠滑臺、滑臺伸縮氣缸,直線滑軌的導向座安裝在機架板前上端,電動絲杠滑臺的固定板后側端安裝在直線滑軌的滑動塊前側端;所述電動絲杠滑臺的滑動塊前側端安裝有支撐板,滑臺伸縮氣缸的固定板安裝在支撐板前部側端,滑臺伸縮氣缸的活動柱外側安裝有連接板,連接板前側端安裝有軸承,旋轉氣缸安裝在連接板前側外端且其轉軸安裝在軸承的內圈內,旋轉氣缸的轉軸位于連接板內側端位置安裝有固定塊,真空氣動吸盤安裝在固定板的下端;所述位移機構安裝在機架板下端。
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