拓荊科技股份有限公司姜全昌獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉拓荊科技股份有限公司申請的專利一種循環冷卻凈化裝置及雙腔三晶舟的晶圓加工設備獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223390508U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422822803.7，技術領域涉及：H01L21/67；該實用新型一種循環冷卻凈化裝置及雙腔三晶舟的晶圓加工設備是由姜全昌設計研發完成，并于2024-11-19向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種循環冷卻凈化裝置及雙腔三晶舟的晶圓加工設備在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種循環冷卻凈化裝置及雙腔三晶舟的晶圓加工設備。雙腔三晶舟的晶圓加工設備包括兩個裝載區和隔離門，兩個裝載區由隔離門間隔；循環冷卻凈化裝置用于向裝載區中的晶舟位置通入氣體并進行吹掃，循環冷卻凈化裝置包括對稱設置于兩個裝載區中的兩組循環冷卻凈化組件；兩組循環冷卻凈化組件分別在兩個裝載區中進行吹掃清潔和冷卻。本實用新型的循環冷卻凈化組件可以使通入的氣體進行撞擊反射后再有方向性地到達晶舟位置，可對晶舟和晶舟上的晶圓進行均勻地吹掃，以實現清潔和冷卻，并且氣體經過反射后有效降低了高壓力大流量的氣體對晶圓與晶舟的直接沖擊，具有緩沖作用。
本實用新型一種循環冷卻凈化裝置及雙腔三晶舟的晶圓加工設備在權利要求書中公布了：1.一種循環冷卻凈化裝置，應用于雙腔三晶舟的晶圓加工設備，所述雙腔三晶舟的晶圓加工設備包括兩個裝載區和隔離門，兩個裝載區由隔離門間隔；其特征在于，所述循環冷卻凈化裝置用于向所述裝載區中部的晶舟位置通入氣體并進行吹掃，所述循環冷卻凈化裝置包括： 多個循環冷卻凈化組件，以所述隔離門為中心對稱設置于兩個裝載區中； 所述循環冷卻凈化組件包括設置于所述裝載區內的進氣部、導流部和回氣部；所述進氣部的氣體流出方向朝向所述導流部，所述導流部的導流面傾斜設置并可改變氣體的流向，所述導流部使氣體至少經過一次撞擊反射后達到所述裝載區的晶舟位置，所述回氣部用于對所述裝載區內部進行抽氣。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人拓荊科技股份有限公司，其通訊地址為：110171 遼寧省沈陽市渾南區水家900號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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