河北光森電子科技有限公司耿林茹獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉河北光森電子科技有限公司申請的專利一種晶圓快速熱處理密封機構獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223387214U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202422833082.X,技術領域涉及:E06B7/16;該實用新型一種晶圓快速熱處理密封機構是由耿林茹;白曄茹;高倫設計研發完成,并于2024-11-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓快速熱處理密封機構在說明書摘要公布了:本實用新型公開了一種晶圓快速熱處理密封機構,具體涉及晶圓熱處理技術領域包括外框機構,所述外框機構的內部固定安裝有開合機構,所述外框機構的內部通過開合機構活動桿有密封門機構,所述外框機構包括安裝外框,所述安裝外框的內部固定安裝有蓋縫板,所述密封門機構包括密封門扇,所述密封門扇靠近蓋縫板的一側固定安裝有氣囊。該晶圓快速熱處理密封機構,通過設置的鎖銷和鎖套之間的配合將密封門扇固定在安裝外框的內部,通過第二齒輪帶動第二齒條位移,進而帶動鎖銷在鎖套的內部位移,調整鎖銷和鎖套之間的鎖止狀態,當密封門扇鎖止在安裝外框的內部時,通過氣囊將耐高溫密封條擠壓至蓋縫板的一側完成密封。
本實用新型一種晶圓快速熱處理密封機構在權利要求書中公布了:1.一種晶圓快速熱處理密封機構,包括外框機構1,所述外框機構1的內部固定安裝有開合機構2,所述外框機構1的內部通過開合機構2活動桿有密封門機構3,所述外框機構1包括安裝外框101,所述安裝外框101的內部固定安裝有蓋縫板102,其特征在于:所述密封門機構3包括密封門扇301,所述密封門扇301靠近蓋縫板102的一側固定安裝有氣囊302,所述氣囊302靠近蓋縫板102的一側固定安裝有耐高溫密封條303,所述耐高溫密封條303活動安裝在密封門扇301的一側,所述密封門扇301遠離安裝外框101的一側固定安裝有第二限位套304,所述密封門扇301的一側通過第二限位套304滑動安裝有鎖銷305,所述安裝外框101的一側固定安裝有鎖套306,所述密封門扇301的一側固定安裝有安裝架307,所述安裝架307的一側旋轉安裝有第二齒輪308,所述鎖銷305的頂部固定安裝有第二齒條309,所述第二齒輪308嚙合連接在第二齒條309的頂部。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人河北光森電子科技有限公司,其通訊地址為:050000 河北省石家莊市鹿泉區鹿島V谷科技工業園11-12號廠房;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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