仁爍光能(常熟)有限公司;仁爍光能(蘇州)有限公司請求不公布姓名獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉仁爍光能(常熟)有限公司;仁爍光能(蘇州)有限公司申請的專利一種排氣組件及沉積裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223386227U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422829353.4，技術領域涉及：C23C16/455；該實用新型一種排氣組件及沉積裝置是由請求不公布姓名設計研發完成，并于2024-11-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種排氣組件及沉積裝置在說明書摘要公布了：本實用新型涉及原子層沉積領域，尤其涉及一種排氣組件及沉積裝置。通過將排氣座設置為環狀并在排氣座上側沿自身周向間隔設置多個排氣孔，使氣體均勻地從周向排出，進而使氣體分布更加均勻，過濾網和擋板對排氣孔形成雙層防護，避免了大顆粒物吸附在過濾網造成過濾網堵塞以及大顆粒物質通過排氣孔進入真空管路導致真空管路堵塞，擋板跨設于排氣孔上方設置能夠避免反應氣體直接向下進入排氣孔，而是從擋板的側邊進入排氣孔，進一步提高了排氣均勻性。沉積裝置通過將排氣座環繞于承載組件外周設置，使氣體從承載組件的周圍排出，排氣更加均勻，優化了排氣布局，進而使進氣管路排入的氣體在反應腔室中分布更為均勻，提升了膜層生長的均勻性。
本實用新型一種排氣組件及沉積裝置在權利要求書中公布了：1.一種排氣組件，其特征在于，所述排氣組件包括排氣座11，所述排氣座11呈環狀且具有排氣腔室，所述排氣座11上側沿自身周向間隔設置有多個排氣孔1111，所述排氣座11下側開設有管路連接孔1121； 所述排氣組件還包括過濾網12和擋板13，所述過濾網12覆蓋所述排氣孔1111，所述擋板13跨設于所述排氣孔1111上方并與所述過濾網12間隔設置。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人仁爍光能(常熟)有限公司;仁爍光能(蘇州)有限公司，其通訊地址為：215513 江蘇省蘇州市常熟市碧溪街道電廠路79號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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