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龍圖騰網(wǎng)獲悉無錫影速半導(dǎo)體科技有限公司申請的專利一種適用于深紫外波段的鏡頭獲國家實用新型專利權(quán)，本實用新型專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN223389970U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-26發(fā)布的實用新型授權(quán)公告中獲悉：該實用新型的專利申請?zhí)?專利號為：202422845295.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G02B13/14；該實用新型一種適用于深紫外波段的鏡頭是由歐旭鋒設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-11-21向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種適用于深紫外波段的鏡頭在說明書摘要公布了：一種適用于深紫外波段的鏡頭，適用于顯微成像或光刻，沿光軸依次包括：第一透鏡，正彎月透鏡；第二透鏡，為正彎月透鏡；第三透鏡，為負(fù)雙凹透鏡；第四透鏡，為負(fù)雙凹透鏡；第五透鏡，為負(fù)彎月透鏡；第六透鏡，為負(fù)彎月透鏡；第七透鏡，為負(fù)雙凹透鏡；第八透鏡，為正雙凸透鏡；第九透鏡，為正雙凸透鏡；第十透鏡，為正雙凸透鏡；第十一透鏡，為正雙凸透鏡；第十二透鏡，為正彎月透鏡；第十三透鏡，為正彎月透鏡；第十四透鏡，為負(fù)彎月透鏡；第十五透鏡，為正彎月透鏡。本實用新型通過多鏡片組合設(shè)計的鏡頭，易于加工，同時具有高數(shù)值孔徑設(shè)計，結(jié)合深紫外光線的短波長特性，提高了傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的分辨率極限，能夠精細(xì)觀察微小結(jié)構(gòu)。

本實用新型一種適用于深紫外波段的鏡頭在權(quán)利要求書中公布了：1.一種適用于深紫外波段的鏡頭，適用于190nm-270nm波長光線的顯微成像或光刻，其特征在于，所述透鏡組呈腰鼓狀，沿光軸依次包括： 第一透鏡，正彎月透鏡； 第二透鏡，為正彎月透鏡； 第三透鏡，為負(fù)雙凹透鏡； 第四透鏡，為負(fù)雙凹透鏡； 第五透鏡，為負(fù)彎月透鏡； 第六透鏡，為負(fù)彎月透鏡； 第七透鏡，為負(fù)雙凹透鏡； 第八透鏡，為正雙凸透鏡； 第九透鏡，為正雙凸透鏡； 第十透鏡，為正雙凸透鏡； 第十一透鏡，為正雙凸透鏡； 第十二透鏡，為正彎月透鏡； 第十三透鏡，為正彎月透鏡； 第十四透鏡，為負(fù)彎月透鏡； 第十五透鏡，為正彎月透鏡，所述透鏡的左側(cè)曲率半徑為3.2mm~3.5mm，右側(cè)曲率半徑為6.0mm~6.7mm，矢高為1.8mm~2.2mm。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人無錫影速半導(dǎo)體科技有限公司，其通訊地址為：214000 江蘇省無錫市新吳區(qū)菱湖大道200號中國傳感網(wǎng)國際創(chuàng)新園F3棟1-3層；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。