煙臺齊新半導體技術研究院有限公司張麗佳獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉煙臺齊新半導體技術研究院有限公司申請的專利一種Fab潔凈室熱排風回收處理應急聯動系統獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223388667U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202422847330.6,技術領域涉及:F24F1/0038;該實用新型一種Fab潔凈室熱排風回收處理應急聯動系統是由張麗佳設計研發完成,并于2024-11-21向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種Fab潔凈室熱排風回收處理應急聯動系統在說明書摘要公布了:本實用新型涉及一種Fab潔凈室熱排風回收處理應急聯動系統,屬于潔凈室氣體循環技術領域,包括新風進管、新風送風口、風機過濾單元和連通潔凈室外的排風管,所述排風管連通有位于潔凈室技術夾層的回收管,所述回收管依次設有可將熱排風抽走的循環風機、冷卻機構和回風管,冷卻機構為干盤管冷卻器或氣氣換熱器或冷潔凈氣體混入式冷卻器,該系統還包括自控裝置,通過該申請中公開的熱排風回收處理系統及應急聯動系統,便于對潔凈氣體進行回收利用,回收的潔凈氣體降低了補充潔凈室新風的負擔,減小了暖通空調濕度控制的運行成本,也減少了對空氣進行潔凈處理的成本,進而大幅度降低了生產成本。
本實用新型一種Fab潔凈室熱排風回收處理應急聯動系統在權利要求書中公布了:1.一種Fab潔凈室熱排風回收處理應急聯動系統,包括潔凈室1、新風空調機組23、新風進管21和排風管3;所述新風進管21的一端與新風空調機組23的出風口相連接,所述新風進管21的另一端與潔凈室1連通,所述排風管3的一端與潔凈室1連通,所述排風管3的另一端通向室外9; 其特征在于:還包括回收單元;所述回收單元包括回收管4與回風管51,以及沿氣體流向依次設于回收管4上的循環風機41與冷卻機構5,所述回收管4的起始端連接所述排風管3;所述回風管51的一端連接于冷卻機構5出口,所述回風管51的另一端與潔凈室1連通。
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