芯恩(青島)集成電路有限公司王躍林獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉芯恩(青島)集成電路有限公司申請的專利研磨裝置及化學機械研磨設備獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223383257U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422871747.6，技術領域涉及：B24B37/00；該實用新型研磨裝置及化學機械研磨設備是由王躍林;許力介;韓志祥;趙振偉設計研發完成，并于2024-11-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本研磨裝置及化學機械研磨設備在說明書摘要公布了：本實用新型提供了一種研磨裝置及化學機械研磨設備，包括：研磨臺、研磨墊以及供液組件，研磨臺的頂面間隔地設有若干個出液孔，研磨墊設于研磨臺的頂面，研磨墊貫穿地設有若干個穿孔，穿孔與出液孔一一對應設置，穿孔與對應的出液孔連通。供液組件分別與若干個出液孔連接，供液組件用于分別向若干個出液孔提供研磨液，研磨液從不同的穿孔流出并流到研磨墊表面的不同區域。本實用新型通過供液組件分別向若干個出液孔提供研磨液，研磨液分別流經若干個出液孔、若干個穿孔，然后流出到研磨墊表面的不同區域，可對研磨墊表面的不同區域單獨地提供研磨液。在研磨臺的轉動作用下，研磨液能夠在研磨墊表面迅速地擴散，從而提高了研磨液分布的均勻性。
本實用新型研磨裝置及化學機械研磨設備在權利要求書中公布了：1.一種研磨裝置，其特征在于，包括：研磨臺、研磨墊以及供液組件； 所述研磨臺的頂面間隔地設有若干個出液孔； 所述研磨墊設于所述研磨臺的頂面，所述研磨墊貫穿地設有若干個穿孔，所述穿孔與所述出液孔一一對應設置，所述穿孔與對應的所述出液孔連通； 所述供液組件分別與若干個所述出液孔連接，所述供液組件用于分別向若干個所述出液孔提供研磨液，研磨液從不同的所述穿孔流出并流到所述研磨墊表面的不同區域。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人芯恩(青島)集成電路有限公司，其通訊地址為：266000 山東省青島市黃島區太白山路19號德國企業南區401；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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