甬江實驗室萬青獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉甬江實驗室申請的專利倒置結構薄膜鈮酸鋰/鉭酸鋰電光調制器的制備方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119738985B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202411886885.X,技術領域涉及:G02F1/035;該發明授權倒置結構薄膜鈮酸鋰/鉭酸鋰電光調制器的制備方法是由萬青;翁海中;吳云濤設計研發完成,并于2024-12-18向國家知識產權局提交的專利申請。
本倒置結構薄膜鈮酸鋰/鉭酸鋰電光調制器的制備方法在說明書摘要公布了:本申請公開了一種倒置結構薄膜鈮酸鋰鉭酸鋰電光調制器的制備方法,屬于電光調制器技術領域。該制備方法包括如下步驟:提供器件層,所述器件層的材料選自鈮酸鋰和或鉭酸鋰;在所述器件層上獲得波導結構:在所述器件層的一側表面通過刻蝕或沉積的方式制備所述波導結構;倒置低溫鍵合、減薄:提供襯底,使所述波導結構的一面朝向所述襯底,將所述器件層倒置低溫鍵合于所述襯底上,然后對所述器件層進行減薄。此方法可解決離子注入造成晶格損傷的問題,以及減薄再制備器件時器件層厚度不均、表面不光滑的問題。
本發明授權倒置結構薄膜鈮酸鋰/鉭酸鋰電光調制器的制備方法在權利要求書中公布了:1.一種倒置結構薄膜鈮酸鋰鉭酸鋰電光調制器的制備方法,其特征在于,包括如下步驟: 提供器件層,所述器件層的材料選自鈮酸鋰和或鉭酸鋰; 在所述器件層上獲得波導結構:在所述器件層的一側表面通過刻蝕或沉積的方式制備所述波導結構; 倒置低溫鍵合、減薄:提供襯底,使所述波導結構的一面朝向所述襯底,將所述器件層倒置低溫鍵合于所述襯底上,然后對所述器件層進行減薄。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人甬江實驗室,其通訊地址為:315202 浙江省寧波市鎮海區駱駝街道慈海南路1792號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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