合肥工業大學張亞超獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉合肥工業大學申請的專利提升飛秒激光加工出的微槽垂直度的方法與加工系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119839468B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510165958.4，技術領域涉及：B23K26/38；該發明授權提升飛秒激光加工出的微槽垂直度的方法與加工系統是由張亞超;劉瑞祥;吳思竹;勞召欣設計研發完成，并于2025-02-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本提升飛秒激光加工出的微槽垂直度的方法與加工系統在說明書摘要公布了：本發明屬于激光加工領域，具體涉及一種提升飛秒激光加工出的微槽垂直度的方法與加工系統。該方法通過在先加工目標表面覆蓋由特定材質和厚度的蓋板以及緩沖層材料，再進行飛秒激光加工的方式，實現在半導體材料和玻璃材料的表面加工出具有更高加工質量，且微槽寬度更加窄小、垂直度更高的微槽陣列。該方案還結合大量真實的實驗數據構建了一個工藝數據庫，進而實現在對任意材料的加工目標進行切割或進行表面處理，均可以結合工況需求快速確定最佳的加工參數，進而實現加工效率與加工質量的同步提升。本發明的方案可以有效克服傳統飛秒激光加工技術在某些場景下存在的分辨率不足和加工質量不高的問題。
本發明授權提升飛秒激光加工出的微槽垂直度的方法與加工系統在權利要求書中公布了：1.一種提升飛秒激光加工出的微槽垂直度的方法，其特征在于，其包括： 將待加工目標的材質和目標深度作為工況需求，根據工況需求查詢一個工藝數據庫，得到滿足加工要求的若干個候選工藝組合；每個工藝組合由一組蓋板材質、蓋板厚度、激光功率和掃描次數的值構成； 在清潔后的待加工目標表面的加工區域涂布緩沖層材料，然后根據選擇的工藝組合在緩沖層上方覆蓋對應規格的蓋板；最后對蓋板與待加工目標的組合體進行固定，并按照預設的加工參數從蓋板一側入射飛秒激光，以實現在待加工目標表面加工出指定結構的微槽； 所述工藝數據庫是一種結合真實實驗數據建立的，用于表征飛秒激光加工系統采用任意指定激光功率和掃描次數，在覆蓋有使用任意材質和厚度的蓋板的指定材質的待加工目標表面進行加工時所能達到的滿足垂直度要求的微槽的最大深度。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人合肥工業大學，其通訊地址為：230009 安徽省合肥市包河區屯溪路193號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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