紹興鑫藝智能科技有限公司劉春芳獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉紹興鑫藝智能科技有限公司申請的專利一種半導體生產用硅晶圓柱加工磨削裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120134111B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510602761.2,技術領域涉及:B24B5/50;該發明授權一種半導體生產用硅晶圓柱加工磨削裝置是由劉春芳;謝菲;孫恩齊設計研發完成,并于2025-05-12向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種半導體生產用硅晶圓柱加工磨削裝置在說明書摘要公布了:本發明公開了一種半導體生產用硅晶圓柱加工磨削裝置,涉及半導體生產技術領域,包括加工板,所述加工板的頂部固定安裝有放置板,所述加工板的頂部固定貫穿有線性驅動機構,所述線性驅動機構的移動端頂部固定安裝有驅動電機,所述驅動電機的輸出端固定安裝有裝載板,所述裝載板遠離驅動電機的一端固定貫穿有打磨機構,還包括夾持裝置;其中,夾持裝置包括電動推桿、搭載板、T形桿、一號彈簧、橡膠板、升降板、一號彈片、兩個銜接桿、弧形條和支撐桿,通過加工板施加的支撐力提高打磨的穩定性,再用弧形條對硅晶圓柱施加壓力,確保打磨過程中硅晶圓柱不會發生偏轉影響打磨效果。
本發明授權一種半導體生產用硅晶圓柱加工磨削裝置在權利要求書中公布了:1.一種半導體生產用硅晶圓柱加工磨削裝置,包括加工板(1),其特征在于:還包括夾持裝置、防塵裝置和鎖定裝置,所述加工板(1)的頂部固定安裝有放置板(2),所述加工板(1)的頂部固定貫穿有線性驅動機構(3),所述線性驅動機構(3)的移動端頂部固定安裝有驅動電機(4),所述驅動電機(4)的輸出端固定安裝有裝載板(5),所述裝載板(5)遠離驅動電機(4)的一端固定貫穿有打磨機構(6),所述加工板(1)的頂部開設有滑槽; 其中,夾持裝置包括電動推桿(7)、搭載板(8)、T形桿(9)、一號彈簧(10)、橡膠板(11)、升降板(12)、一號彈片(13)、兩個銜接桿(14)、弧形條(15)和支撐桿(16),所述電動推桿(7)固定安裝在加工板(1)的頂部,所述搭載板(8)固定安裝在電動推桿(7)的輸出端,所述T形桿(9)滑動貫穿在搭載板(8)遠離電動推桿(7)的一面,所述一號彈簧(10)設置在T形桿(9)與搭載板(8)之間,所述橡膠板(11)固定安裝在T形桿(9)遠離搭載板(8)的一面,所述升降板(12)滑動貫穿在搭載板(8)的頂部,所述一號彈片(13)設置在升降板(12)與搭載板(8)之間,兩個所述銜接桿(14)固定安裝在升降板(12)遠離電動推桿(7)的一面,所述弧形條(15)設置在銜接桿(14)遠離升降板(12)的兩端,所述支撐桿(16)固定安裝在升降板(12)的底部,所述支撐桿(16)滑動貫穿在搭載板(8)的底部,所述橡膠板(11)遠離搭載板(8)的一面開設有波紋一; 所述防塵裝置包括移動框(161)、玻璃罩(162)、矩形板(163)、二號彈片(164)、接觸板(165)、限位板(166)、圓柱塊(167)、彈性片(168)和圓桿(169),所述移動框(161)滑動安裝在滑槽的頂部,所述玻璃罩(162)固定安裝在移動框(161)的內部,所述矩形板(163)滑動安裝在移動框(161)的內壁,所述二號彈片(164)設置在矩形板(163)與移動框(161)之間,所述接觸板(165)固定安裝在矩形板(163)的底部,所述限位板(166)固定安裝在移動框(161)的外壁,所述圓柱塊(167)固定安裝在矩形板(163)的表面,所述彈性片(168)固定安裝在移動框(161)的內壁,所述圓桿(169)固定安裝在移動框(161)的內壁。
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