合肥晶合集成電路股份有限公司孫姍姍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉合肥晶合集成電路股份有限公司申請的專利生產機臺的工作參數異常檢測方法、裝置、計算機設備獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120354316B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510828941.2,技術領域涉及:G06F18/2433;該發明授權生產機臺的工作參數異常檢測方法、裝置、計算機設備是由孫姍姍;謝海燕設計研發完成,并于2025-06-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本生產機臺的工作參數異常檢測方法、裝置、計算機設備在說明書摘要公布了:本申請涉及一種生產機臺的工作參數異常檢測方法、裝置、計算機設備、計算機可讀存儲介質和計算機程序產品。方法包括:獲取目標機臺在生產目標晶圓過程中的目標工作參數的多個數據點;在預設坐標系下,基于多個數據點形成第一邊緣線以及第二邊緣線,預設坐標系以數據點的進點序數為第一坐標軸,且以目標工作參數值為第二坐標軸;計算第一邊緣線與第二邊緣線之間的區域的區域面積;基于區域面積,確定目標機臺在生產目標晶圓過程中的目標工作參數異常情況。采用本方法能夠在目標機臺的目標工作參數異常時,有效卡控攔截其生產的目標晶圓。
本發明授權生產機臺的工作參數異常檢測方法、裝置、計算機設備在權利要求書中公布了:1.一種生產機臺的工作參數異常檢測方法,其特征在于,包括: 獲取目標機臺在生產目標晶圓過程中的目標工作參數的多個數據點; 在預設坐標系下,基于所述多個數據點形成第一邊緣線以及第二邊緣線,所述預設坐標系以所述數據點的進點序數為第一坐標軸,且以目標工作參數值為第二坐標軸; 計算第一邊緣線與第二邊緣線之間的區域的區域面積; 基于所述區域面積,確定所述目標機臺在生產目標晶圓過程中的目標工作參數異常情況; 所述在預設坐標系下,基于所述多個數據點形成第一邊緣線以及第二邊緣線,包括: 在所述多個數據點中,確定多個上拐點以及多個下拐點;其中,所述多個上拐點用于形成所述第一邊緣線,所述多個下拐點用于形成所述第二邊緣線。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人合肥晶合集成電路股份有限公司,其通訊地址為:230012 安徽省合肥市新站區合肥綜合保稅區內西淝河路88號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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