珠海誠鋒電子科技有限公司焦超獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉珠海誠鋒電子科技有限公司申請的專利一種用于掩模版細線圖形的異常檢測方法及系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120563509B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202511054374.6,技術領域涉及:G06T7/00;該發明授權一種用于掩模版細線圖形的異常檢測方法及系統是由焦超;藍劍飛;張騰設計研發完成,并于2025-07-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種用于掩模版細線圖形的異常檢測方法及系統在說明書摘要公布了:本發明公開了一種用于掩模版細線圖形的異常檢測方法及系統,涉及圖形檢測技術領域,在豎直方向上對細線圖像錯位裁剪后得到至少三個圖塊,通過與運算將差分圖的掩模合并,過濾掉圖塊之間的缺陷,僅保留當前圖塊內的缺陷掩模,將至少三個圖塊的缺陷掩模分別擴展為與細線圖像相同大小,通過或運算將補全后的缺陷掩模合并,得到細線圖像的缺陷掩模,根據細線圖形的端點,對缺陷掩模進行邊界補全,得到最終掩模版圖像的缺陷掩模。該檢測方法基于單張圖像內部的差分運算,不僅可以避免因圖像灰度差異導致的過檢,還能有效降低對齊誤差所引起的誤報,從而顯著降低整體的過檢率,最終提升掩模版檢測的效率和可靠性。
本發明授權一種用于掩模版細線圖形的異常檢測方法及系統在權利要求書中公布了:1.一種用于掩模版細線圖形的異常檢測方法,其特征在于:所述檢測方法包括以下步驟: 對采集到的掩模版圖像進行灰度化處理,得到對應的灰度圖像,分別對灰度圖像在水平方向和豎直方向上求最大值,得到至少兩個圖像向量; 基于圖像向量判斷細線的長度方向,并依據判斷結果計算細線端點坐標; 根據計算得到的細線端點坐標,去除圖像中的黑色邊界并保留細線區域后,得到細線圖像; 對細線圖像錯位裁剪后得到至少三個圖塊,對得到的至少三個圖塊進行差分處理獲取相應數量的差分圖,再對差分圖進行二值化處理,得到相應數量的缺陷掩模二值圖; 通過與運算將差分圖的掩模合并,過濾掉圖塊之間的缺陷,僅保留當前圖塊內的缺陷掩模; 將至少三個圖塊的缺陷掩模分別擴展為與細線圖像相同大小,通過或運算將補全后的缺陷掩模合并,得到細線圖像的缺陷掩模,根據細線圖形的端點,對缺陷掩模進行邊界補全,得到最終掩模版圖像的缺陷掩模。
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