應用材料公司馬修·斯伯勒獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉應用材料公司申請的專利用于管理基板釋氣的系統和方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114730722B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080078774.X，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權用于管理基板釋氣的系統和方法是由馬修·斯伯勒;姚東明設計研發完成，并于2020-12-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于管理基板釋氣的系統和方法在說明書摘要公布了：本揭示內容的實施方式涉及用于管理熱處理腔室中的有機化合物的設備、系統和方法。氣體管線可以與熱處理腔室流體連通，并且排氣泵可以通過排氣導管耦接到熱處理腔室，并且可以由流出物流量控制閥控制。設備包括取樣管線，取樣管線具有耦接到排氣導管的有機化合物傳感器。有機化合物傳感器可以與控制模塊通信，控制模塊可以控制用于處理基板的操作參數。
本發明授權用于管理基板釋氣的系統和方法在權利要求書中公布了：1.一種基板處理設備，包括： 熱處理腔室，所述熱處理腔室限定處理空間； 氣體管線，所述氣體管線耦接至所述熱處理腔室； 排氣泵，所述排氣泵通過排氣導管耦接到所述熱處理腔室； 排氣流量控制器，所述排氣流量控制器耦接到所述排氣導管；和 取樣管線，所述取樣管線耦接到所述排氣導管，所述取樣管線包括有機化合物傳感器和取樣流量控制閥，所述有機化合物傳感器通信地耦接到所述排氣流量控制器，其中所述取樣流量控制閥被配置為由控制模塊操縱以基于從所述有機化合物傳感器接收的信號來控制穿過所述有機化合物傳感器的流出物的流率。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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