佳能株式會社本間將人獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉佳能株式會社申請的專利氣體供給裝置、光刻裝置以及物品制造方法獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114200779B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202111071545.8，技術領域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權氣體供給裝置、光刻裝置以及物品制造方法是由本間將人設計研發(fā)完成，并于2021-09-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本氣體供給裝置、光刻裝置以及物品制造方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供氣體供給裝置、光刻裝置以及物品制造方法。提供有利于以簡易構成來降低空間的溫度分布的技術。氣體供給裝置具備構成氣體的吹出口的框體和在與框體之間設有間隙并覆蓋框體的罩，罩具有使從吹出口吹出的氣體經過的開口部，在從正面觀看吹出口時的平面觀看時，開口部比吹出口小且位于收斂在吹出口的區(qū)域內的位置，罩具有在平面觀看時與吹出口的一部分以及框體的第1面相向并形成開口部的第1部分和從第1部分延伸并與框體的不同于第1面的第2面相向的第2部分，第1部分將從吹出口吹出的氣體的一部分向間隙引導，間隙構成由第1部分引導的氣體的流路。
本發(fā)明授權氣體供給裝置、光刻裝置以及物品制造方法在權利要求書中公布了：1.一種氣體供給裝置，其特征在于， 上述氣體供給裝置具備： 框體，該框體構成氣體的吹出口；以及 罩，該罩在與上述框體之間設有間隙并覆蓋上述框體， 上述罩具有開口部，該開口部使從上述吹出口吹出的氣體經過， 在從正面觀看上述吹出口時的平面觀看時，上述開口部比上述吹出口小且位于收斂在上述吹出口的區(qū)域內的位置， 上述罩具有：第1部分，該第1部分在上述平面觀看時與上述吹出口的一部分以及上述框體的第1面相向，并形成上述開口部；以及第2部分，該第2部分從上述第1部分延伸，并與上述框體的不同于上述第1面的第2面相向， 上述第1部分將從上述吹出口吹出的氣體的一部分向上述間隙引導，上述間隙構成由上述第1部分引導的氣體的流路。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人佳能株式會社，其通訊地址為：日本東京；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發(fā)布本報告當日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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