弘塑科技股份有限公司陳建勝獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉弘塑科技股份有限公司申請的專利單晶圓濕處理設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116072565B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111274481.1，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權單晶圓濕處理設備是由陳建勝設計研發完成，并于2021-10-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本單晶圓濕處理設備在說明書摘要公布了：本發明提供一種單晶圓濕處理設備，包含一操作殼體、一驅動機構以及一升降機構。操作殼體包含一集液腔室以及與集液腔室分別連通的一回收導管及一第一廢水排放管，其中回收導管還包含彼此不連通的一第一回收內管及一第二廢水排放管。驅動機構包含承載所述晶圓的一轉盤以及一驅動組件，轉盤設置在集液腔室內。升降機構包含相對操作殼體移動的一回收環以及跟隨回收環移動的一第二回收內管，回收環沿著操作殼體內壁移動，第二回收內管套設并相對第一回收內管移動，使廢水不會從回收導管滲入到第一回收內管中，進而污染藥液儲存槽。
本發明授權單晶圓濕處理設備在權利要求書中公布了：1.一種單晶圓濕處理設備，其特征在于，透過一液體供應裝置噴灑一晶圓，該單晶圓濕處理設備包括： 一操作殼體，包含一集液腔室以及與該集液腔室分別連通的一回收導管及一第一廢水排放管，其中該回收導管還包含彼此不連通的一第一回收內管及一第二廢水排放管； 一驅動機構，包含承載所述晶圓的一轉盤以及驅動該轉盤轉動的一驅動組件，該轉盤設置在該集液腔室內；以及 一升降機構，包含相對該操作殼體移動的一回收環以及跟隨該回收環移動的一第二回收內管，該回收環沿著該操作殼體內壁移動，該第二回收內管相對該第一回收內管移動； 其中，該第二回收內管具有內外兩層結構，包含一第一管部以及套設于該第一管部外的一第二管部，該第一管部的一端插設于該第一回收內管內，該第二管部的一端則套設于該第一回收內管外，該第一管部及該第二管部會相對該第一回收內管移動。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人弘塑科技股份有限公司，其通訊地址為：中國臺灣新竹市香山區中華路六段89號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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