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龍圖騰網(wǎng)獲悉合肥維信諾科技有限公司申請(qǐng)的專利顯示面板的過(guò)孔控制方法和過(guò)孔刻蝕裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114267587B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-23發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202111493350.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/311；該發(fā)明授權(quán)顯示面板的過(guò)孔控制方法和過(guò)孔刻蝕裝置是由梅運(yùn)柱;賈馬龍;常李陽(yáng);張子曰;曹志文;李偉華;李陽(yáng)設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-12-08向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本顯示面板的過(guò)孔控制方法和過(guò)孔刻蝕裝置在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本申請(qǐng)涉及一種顯示面板的過(guò)孔控制方法和過(guò)孔刻蝕裝置，先由第二膜層朝向基板的方向，在第二膜層的表面刻蝕過(guò)孔。當(dāng)刻蝕過(guò)孔產(chǎn)生的生成物的光強(qiáng)變化率到第一預(yù)設(shè)值時(shí)，說(shuō)明刻蝕過(guò)孔的位置到達(dá)第一膜層和第二膜層的界面。然后繼續(xù)刻蝕第一膜層形成過(guò)孔。在第二膜層刻蝕過(guò)孔時(shí)，通過(guò)監(jiān)測(cè)過(guò)孔產(chǎn)生的生成物的光強(qiáng)變化率能夠大致判斷過(guò)孔的刻蝕位置。通過(guò)生成物的光強(qiáng)變化率判斷過(guò)孔刻蝕的位置可能會(huì)有監(jiān)測(cè)延遲帶來(lái)的誤差。由于第一膜層厚度已知，第一膜層的材料材質(zhì)和密度相對(duì)均勻，因此刻蝕第一膜層的速率容易控制。在刻蝕過(guò)孔的最后階段，通過(guò)控制刻蝕時(shí)間控制過(guò)孔在第一膜層的刻蝕的深度，能夠提高刻蝕第一過(guò)孔的終點(diǎn)位置的精度。

本發(fā)明授權(quán)顯示面板的過(guò)孔控制方法和過(guò)孔刻蝕裝置在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種顯示面板的過(guò)孔控制方法，其特征在于，包括： 提供基板（100），所述基板（100）的一側(cè)層疊設(shè)置有第一膜層（110）和第二膜層（120），所述第二膜層（120）設(shè)置于所述第一膜層（110）遠(yuǎn)離所述基板（100）的一側(cè)；所述基板（100）和所述第一膜層（110）之間設(shè)置溝道層（400），所述第一膜層（110）和所述第二膜層（120）之間設(shè)置有第一標(biāo)記層（310）；所述第一標(biāo)記層（310）包括金屬材料，所述第一標(biāo)記層（310）用于形成信號(hào)走線； 在由所述第二膜層（120）朝向所述基板（100）的方向，在所述第二膜層（120）的表面刻蝕過(guò)孔（200）； 當(dāng)刻蝕所述過(guò)孔（200）產(chǎn)生的生成物的光強(qiáng)變化率到第一預(yù)設(shè)值時(shí)，通過(guò)控制刻蝕時(shí)間控制所述過(guò)孔（200）在所述第一膜層（110）的刻蝕的深度； 其中，監(jiān)測(cè)刻蝕所述第一標(biāo)記層（310）的生成物的光強(qiáng)變化率；當(dāng)刻蝕所述第一標(biāo)記層（310）的生成物的光強(qiáng)變化率到所述第一預(yù)設(shè)值時(shí)，通過(guò)控制刻蝕時(shí)間控制所述過(guò)孔（200）與所述溝道層（400）接觸的位置。

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