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龍圖騰網(wǎng)獲悉盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司申請(qǐng)的專利電鍍?cè)O(shè)備的減震控制方法、裝置及電子設(shè)備獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN118166411B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-23發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202211573444.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06F30/17；該發(fā)明授權(quán)電鍍?cè)O(shè)備的減震控制方法、裝置及電子設(shè)備是由王堅(jiān);王暉;賈照偉;楊宏超;胡瑜璐設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-12-08向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本電鍍?cè)O(shè)備的減震控制方法、裝置及電子設(shè)備在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N電鍍?cè)O(shè)備的減震控制方法、裝置及電子設(shè)備。該方法包括：獲取電鍍?cè)O(shè)備的共振頻率；基于共振頻率，選擇槳葉的工作頻率，所述工作頻率等于共振頻率的m倍，m為數(shù)值范圍0，0.5內(nèi)的實(shí)數(shù)且該槳葉的工作周期小于電鍍的工藝時(shí)間；其中，所述工作頻率為槳葉在電鍍?cè)O(shè)備的電鍍腔內(nèi)做分步往返步進(jìn)式振動(dòng)的頻率。本申請(qǐng)的電鍍?cè)O(shè)備的減震控制方法、裝置及電子設(shè)備，根據(jù)不同電鍍?cè)O(shè)備所具有的不同共振頻率，針對(duì)性控制電鍍?cè)O(shè)備電鍍腔內(nèi)槳葉的工作頻率，以及不同電鍍腔內(nèi)槳葉的振動(dòng)方式，很大程度減弱了槳葉振動(dòng)所帶來(lái)的影響，確保基板在實(shí)際工藝環(huán)境下的穩(wěn)定，保障基板的加工質(zhì)量，提高基板良率。

本發(fā)明授權(quán)電鍍?cè)O(shè)備的減震控制方法、裝置及電子設(shè)備在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種電鍍?cè)O(shè)備的減震控制方法，其特征在于，包括： 獲取電鍍?cè)O(shè)備的共振頻率； 基于共振頻率，選擇電鍍?cè)O(shè)備的槳葉的工作頻率，所述工作頻率等于共振頻率的m倍，m為數(shù)值范圍0，0.5]內(nèi)的實(shí)數(shù)，且槳葉的工作頻率所對(duì)應(yīng)的工作周期小于電鍍的工藝時(shí)間； 其中，所述工作頻率為槳葉在電鍍?cè)O(shè)備的電鍍腔內(nèi)做分步往返步進(jìn)式周期運(yùn)動(dòng)的頻率； 選擇槳葉的工作頻率之后，基于所述工作頻率，利用公式一計(jì)算槳葉前進(jìn)一次然后后退一次所需要產(chǎn)生的位移Δ，根據(jù)槳葉前進(jìn)一次然后后退一次所需要產(chǎn)生的位移生成槳葉的步進(jìn)指令數(shù)據(jù)，控制槳葉按照指令數(shù)據(jù)動(dòng)作； 其中，所述公式一為： Δ＝L*mf*t1*R 其中， L表示槳葉以分步往返步進(jìn)式振動(dòng)過(guò)程中的起點(diǎn)和終點(diǎn)之間的距離； f表示電鍍?cè)O(shè)備的共振頻率； t1表示槳葉每前進(jìn)一次然后后退一次所花費(fèi)的時(shí)長(zhǎng)； R表示槳葉在一個(gè)工作周期的振動(dòng)中移動(dòng)距離達(dá)到L的次數(shù)。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司，其通訊地址為：201203 上海市浦東新區(qū)中國(guó)(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蔡倫路1690號(hào)第4幢；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。