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龍圖騰網獲悉廣東省科學院新材料研究所;廣東工業大學申請的專利一種高熵氮化物抗沖蝕涂層及其制備方法與器件獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116005109B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211569996.9，技術領域涉及：C23C14/06；該發明授權一種高熵氮化物抗沖蝕涂層及其制備方法與器件是由張程;程馳;李海慶;林松盛;石倩;韋春貝;代明江;蘇一凡;唐鵬;黃淑琪設計研發完成，并于2022-12-08向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種高熵氮化物抗沖蝕涂層及其制備方法與器件在說明書摘要公布了：本發明公開了一種高熵氮化物抗沖蝕涂層及其制備方法與器件，屬于工程材料技術領域。該抗沖蝕涂層包括于基體表面依次設置的Me過渡層及AlTiCrZrNbN高熵氮化物工作層；Me過渡層中的Me包括Ti、Cr和Zr中的至少一種；工作層對應的制備原料中Al、Ti、Cr、Zr、Nb的元素原子比為x:1:1:1:1，0.5x2；過渡層和工作層的厚度依次為0.20?2μm和2?8μm。該涂層具有優異的力學性能、硬度、耐磨性及良好表面質量。其制備方法包括：采用物理氣相沉積方法于基體表面按順序制備各結構層。該制備方法簡單，沉積速率快，適用于工業生產。上述涂層可設置于器件表面以提高器件的抗沖蝕能力。

本發明授權一種高熵氮化物抗沖蝕涂層及其制備方法與器件在權利要求書中公布了：1.一種高熵氮化物抗沖蝕涂層，其特征在于，包括于基體表面依次設置的Me過渡層以及AlTiCrZrNbN高熵氮化物工作層； 其中，所述Me過渡層中的Me選自Ti、Cr和Zr中的至少一種；所述AlTiCrZrNbN高熵氮化物工作層對應的制備原料中Al、Ti、Cr、Zr、Nb的元素原子比為x:1:1:1:1，0.5x2； 所述Me過渡層的厚度為0.20-2μm，所述AlTiCrZrNbN高熵氮化物工作層的厚度為2-8μm； 所述AlTiCrZrNbN高熵氮化物工作層由靠近所述Me過渡層至遠離所述Me過渡層的方向，呈現出柱狀晶特征逐漸減少且細小晶粒特征逐漸增多的復合形式；所述AlTiCrZrNbN高熵氮化物工作層中具有單一的FCC固溶體結構； 采用陰極電弧離子鍍膜方式制備所述AlTiCrZrNbN高熵氮化物工作層，所述AlTiCrZrNbN高熵氮化物工作層的制備條件包括：反應氣體為氮氣，氣壓為0.5Pa-8Pa，氮氣流量為100-800sccm，脈沖電磁復合磁場電壓為15V-45V，電磁頻率為6.7Hz-33.3Hz，脈沖負偏壓＞0V且≤400V，占空比為50%-90%，靶電流為50A-110A，沉積溫度為250℃-450℃，沉積時間為60min-300min。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人廣東省科學院新材料研究所;廣東工業大學，其通訊地址為：510650 廣東省廣州市天河區長興路363號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。