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龍圖騰網(wǎng)獲悉大連皓宇電子科技有限公司申請的專利應(yīng)用在晶圓加熱基座中的盤管獲國家實(shí)用新型專利權(quán)，本實(shí)用新型專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN223373228U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-23發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專利申請?zhí)?專利號為：202422540519.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C16/46；該實(shí)用新型應(yīng)用在晶圓加熱基座中的盤管是由王正國;付佳明;李玉慧設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-10-21向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本應(yīng)用在晶圓加熱基座中的盤管在說明書摘要公布了：本實(shí)用新型公開了應(yīng)用在晶圓加熱基座中的盤管，涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域；包括一根加熱管體盤繞而成的加熱盤和引線管，在加熱盤中內(nèi)置有電阻絲，在引線管中內(nèi)置有電阻絲導(dǎo)線；所述加熱盤包括對稱設(shè)置的第一弧形部、對稱設(shè)置的第二弧形部和具有開口結(jié)構(gòu)的環(huán)形部，所述第二弧形部位于第一弧形部內(nèi)側(cè)且兩者通過第一彎折部相連，第一彎折部之間具有第一間距；所述環(huán)形部通過第二彎折部分別與第二弧形部相連，第二彎折部之間具有第二間距，所述第二間距大于第一間距。通過本申請的盤管能使加熱絲呈圓環(huán)形盤繞，更充分地利用電能轉(zhuǎn)化為熱能，使得加熱過程更加高效。這種設(shè)計(jì)有助于快速達(dá)到所需的加熱溫度，從而縮短晶圓加熱處理的時(shí)間，提高生產(chǎn)效率。

本實(shí)用新型應(yīng)用在晶圓加熱基座中的盤管在權(quán)利要求書中公布了：1.應(yīng)用在晶圓加熱基座中的盤管，其特征在于，包括一根加熱管體盤繞而成的加熱盤和引線管，在加熱盤中內(nèi)置有電阻絲，在引線管中內(nèi)置有電阻絲導(dǎo)線；所述加熱盤包括對稱設(shè)置的第一弧形部、對稱設(shè)置的第二弧形部和具有開口結(jié)構(gòu)的環(huán)形部，所述第二弧形部位于第一弧形部內(nèi)側(cè)且兩者通過第一彎折部相連，第一彎折部之間具有第一間距；所述環(huán)形部通過第二彎折部分別與第二弧形部相連，第二彎折部之間具有第二間距，所述第二間距大于第一間距。

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