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龍圖騰網(wǎng)獲悉武漢楚興技術(shù)有限公司申請(qǐng)的專利一種承載結(jié)構(gòu)獲國(guó)家實(shí)用新型專利權(quán)，本實(shí)用新型專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN223378150U 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-23發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202422799151.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/683；該實(shí)用新型一種承載結(jié)構(gòu)是由熊騰青;葛昀哲;周昌盛設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-11-15向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種承載結(jié)構(gòu)在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N承載結(jié)構(gòu)，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，旨在改善硅片在靜電卡盤(pán)吸力撤銷后由于應(yīng)力集中所帶來(lái)的膜層剝離的問(wèn)題。承載結(jié)構(gòu)包括承載主體和多個(gè)凸點(diǎn)結(jié)構(gòu)。承載主體包括第一表面，多個(gè)凸點(diǎn)結(jié)構(gòu)設(shè)于第一表面上，與第一表面連接，多個(gè)凸點(diǎn)結(jié)構(gòu)用于承載硅片。沿第一表面的中心指向邊界的方向，多個(gè)凸點(diǎn)結(jié)構(gòu)的高度逐漸變化。承載結(jié)構(gòu)的凸點(diǎn)結(jié)構(gòu)的高度沿第一表面的中心指向邊界的方向逐漸變化，能夠更好的匹配硅片初始的形狀。硅片被拉平所需要的強(qiáng)制形變減小，因此在撤銷吸附力后，硅片恢復(fù)形變時(shí)所釋放的內(nèi)應(yīng)力顯著降低，有效的減小了膜層間與膜層同硅片間的內(nèi)應(yīng)力集中，避免了膜層因?yàn)閮?nèi)應(yīng)力過(guò)大而剝離。

本實(shí)用新型一種承載結(jié)構(gòu)在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種承載結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述承載結(jié)構(gòu)包括： 承載主體，所述承載主體包括第一表面； 多個(gè)凸點(diǎn)結(jié)構(gòu)，設(shè)置于所述第一表面上，所述多個(gè)凸點(diǎn)結(jié)構(gòu)用于承載硅片； 其中，沿所述第一表面的中心指向邊界的方向，所述多個(gè)凸點(diǎn)結(jié)構(gòu)的高度逐漸變化，所述凸點(diǎn)結(jié)構(gòu)的高度為所述凸點(diǎn)結(jié)構(gòu)在與所述第一表面垂直的方向上的尺寸。

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