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龍圖騰網(wǎng)獲悉無錫昌鼎電子有限公司申請的專利一種晶圓擴膜及矯正機構獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119297123B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產權局官網(wǎng)在2025-09-23發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202411765541.3，技術領域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權一種晶圓擴膜及矯正機構是由陳能強;陳海博設計研發(fā)完成，并于2024-12-04向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓擴膜及矯正機構在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及晶圓加工技術領域，具體提供了一種晶圓擴膜及矯正機構，包括底座，所述底座上設有內環(huán)、外環(huán)，所述外環(huán)分布于內環(huán)的外側，晶圓置于外環(huán)上，內環(huán)抵觸在晶圓的薄膜區(qū)域下端；所述底座上設有驅動模塊、升降模塊、矯正模塊、離合模塊；本發(fā)明在驅動模塊中設置嚙合傳動的主動齒輪和從動齒輪配合傳動，能夠保證恒定的動力傳動比，因此傳動更加平穩(wěn)，傳動效率高，工作可靠；本發(fā)明還設置了矯正模塊，矯正模塊能夠矯正擴膜狀態(tài)下晶粒在晶圓上的分布位置，方便取晶和裝到產品上，提高裝晶產品的良品率；離合模塊的設置能夠在晶圓擴膜后需要矯正晶粒位置的時候將驅動模塊的主動齒輪與從動齒輪分離，提高矯正效果。

本發(fā)明授權一種晶圓擴膜及矯正機構在權利要求書中公布了：1.一種晶圓擴膜及矯正機構，包括底座，所述底座上設有內環(huán)、外環(huán)，所述外環(huán)分布于內環(huán)的外側，晶圓置于外環(huán)上，內環(huán)抵觸在晶圓的薄膜區(qū)域下端； 其特征在于：所述底座上設有驅動模塊、升降模塊、矯正模塊、離合模塊； 所述驅動模塊包括：驅動電機；裝于驅動電機輸出端的主動齒輪；嚙合連接主動齒輪的從動齒輪，所述從動齒輪通過支架轉動裝于底座上，從動齒輪的下端裝有同步轉輪；配合同步轉輪傳動的若干第一從動轉輪，若干所述第一從動轉輪分布于外環(huán)的外側下方；同時套接于同步轉輪和若干第一從動轉輪上的第一傳動皮帶； 所述升降模塊包括：螺母座，所述螺母座裝于第一從動轉輪中；螺紋穿接螺母座的螺柱；連接在螺柱上端的壓塊，所述壓塊嵌裝于外環(huán)上； 所述矯正模塊包括：矯正電機；套接于矯正電機輸出端的主動轉輪；配合主動轉輪傳動的第二從動轉輪，第二從動轉輪轉動裝配于底座上；同時套接于主動轉輪和第二從動轉輪上的第二傳動皮帶；設于第二從動轉輪上端的支撐座，所述內環(huán)、外環(huán)、從動齒輪均裝于支撐座上；所述底座上設有張緊輪和定心輪，張緊輪轉動配合在第二傳動皮帶的內側端，定心輪轉動配合在第二傳動皮帶的外側端；所述第二從動轉輪上設有若干銷孔，支撐座通過銷軸可拆卸的裝于第二從動轉輪上； 所述離合模塊包括：離合氣缸；滑軌；滑動配合在滑軌上的滑塊；裝于滑塊上端且連接離合氣缸輸出端的電機座，所述驅動電機裝于電機座上；通過離合氣缸驅動電機座活動，帶動裝于電機座上的驅動電機以及主動齒輪活動以相對從動齒輪分離聚合； 所述外環(huán)上端還配合有蓋板，在外環(huán)與蓋板之間存在入料口；在外環(huán)相對入料口一側的上端設有防呆柱，用于定位晶圓的導入方向； 所述外環(huán)上端還設有晶圓檢知器和一對相對配合的定位條，晶圓檢知器用于晶圓是否導入，一對定位條用于定位晶圓兩側的外邊緣； 所述底座上設有原點角度檢知器，用于檢測外環(huán)的初始原點位置； 所述支撐座上端設有緩沖柱，緩沖柱對應在蓋板的下端，用于緩沖外環(huán)的升降碰撞沖擊； 所述電機座上設有擴膜定位塊，擴膜定位塊與裝配從動齒輪的支架上端咬合配合，在用于擴膜過程中固定主動齒輪與從動齒輪的嚙合配合。

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