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龍圖騰網(wǎng)獲悉深圳市大德激光技術(shù)有限公司申請的專利一種用于激光隱切SiC后分離晶粒的簡易裂片裝置及方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119943734B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-23發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510135481.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/68；該發(fā)明授權(quán)一種用于激光隱切SiC后分離晶粒的簡易裂片裝置及方法是由胡琦;樂庸輝;米云;楊亞濤;帥濤設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-02-07向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種用于激光隱切SiC后分離晶粒的簡易裂片裝置及方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，更具體的說是一種用于激光隱切SiC后分離晶粒的簡易裂片裝置及方法；包括機(jī)身的上端設(shè)置有用于觀測和顯微放大的視覺定位機(jī)構(gòu)，機(jī)身上縱向滑動設(shè)置有雙劈刀對位機(jī)構(gòu)，機(jī)身上設(shè)置有對單劈刀對位機(jī)構(gòu)，雙劈刀對位機(jī)構(gòu)在單劈刀對位機(jī)構(gòu)上對激光隱切后的SiC進(jìn)行晶粒分離；本發(fā)明的有益效果為解決通常手掰折SiC時，作用于SiC兩側(cè)的受力點隔激光劃線改質(zhì)處距離時而不等，人員時而用力不均勻，導(dǎo)致產(chǎn)品不沿激光劃線改質(zhì)處裂開，從而造成樣品崩邊嚴(yán)重甚至破碎，極大的影響了生產(chǎn)良率的問題。

本發(fā)明授權(quán)一種用于激光隱切SiC后分離晶粒的簡易裂片裝置及方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于激光隱切SiC后分離晶粒的簡易裂片裝置，其特征在于：包括機(jī)身2的上端設(shè)置有用于觀測和顯微放大的視覺定位機(jī)構(gòu)1，機(jī)身2上縱向滑動設(shè)置有雙劈刀對位機(jī)構(gòu)3，機(jī)身2上設(shè)置有對單劈刀對位機(jī)構(gòu)4，雙劈刀對位機(jī)構(gòu)3在單劈刀對位機(jī)構(gòu)4上對激光隱切后的SiC進(jìn)行晶粒分離； 所述的雙劈刀對位機(jī)構(gòu)3包括燕尾槽式位移滑臺31、鈑金結(jié)構(gòu)件32和雙劈刀結(jié)構(gòu)33，燕尾槽式位移滑臺31固定在機(jī)臂21上，燕尾槽式位移滑臺31上縱向滑動設(shè)置有鈑金結(jié)構(gòu)件32，鈑金結(jié)構(gòu)件32通過側(cè)齒輪桿驅(qū)動調(diào)節(jié)縱向滑動在燕尾槽式位移滑臺31上，鈑金結(jié)構(gòu)件32的下端固定有雙劈刀結(jié)構(gòu)33； 所述的單劈刀對位機(jī)構(gòu)4包括載物臺43、支撐組件44、單劈刀結(jié)構(gòu)45、支撐架46、鈑金結(jié)構(gòu)件47和XY軸交叉滾子導(dǎo)軌48，XY軸交叉滾子導(dǎo)軌48和支撐架46均固定在基座22上，XY軸交叉滾子導(dǎo)軌48內(nèi)設(shè)置有X軸驅(qū)動調(diào)節(jié)裝置和Y軸軸驅(qū)動調(diào)節(jié)裝置；XY軸交叉滾子導(dǎo)軌48的上端設(shè)置有鈑金結(jié)構(gòu)件47，鈑金結(jié)構(gòu)件47上插接固定有四個支撐組件44，四個支撐組件44的上端固定有載物臺43；四個支撐組件44之間間隙配合有支撐架46，支撐架46的中端固定有單劈刀結(jié)構(gòu)45，單劈刀結(jié)構(gòu)45的上端設(shè)置有接觸端輪廓451，載物臺43的上端設(shè)置有優(yōu)力膠膜42，載物臺43和優(yōu)力膠膜42的中心設(shè)置有中空矩形區(qū)域49用于插接通過單劈刀結(jié)構(gòu)45的接觸端輪廓451。

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