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龍圖騰網獲悉名正(浙江)電子裝備有限公司;安徽名正電子裝備有限公司申請的專利一種用于研磨拋光的晶圓粘片機獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120055990B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510448142.2，技術領域涉及：B24B37/30；該發明授權一種用于研磨拋光的晶圓粘片機是由鄭勇設計研發完成，并于2025-04-10向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種用于研磨拋光的晶圓粘片機在說明書摘要公布了：本發明涉及晶圓加工技術領域，且公開了一種用于研磨拋光的晶圓粘片機，包括固定機構，固定機構的內部固定設置有固定組件，固定機構的內壁固定設置有閉合組件，在使用前，先將晶圓放置在微孔陶瓷真空吸盤的頂部，其中，若干個弧形板處于堆疊的狀態，在弧形板轉動時，若干個弧形板的中心位置將形成圓形的夾持區域，該區域將對微孔陶瓷真空吸盤的頂部晶圓的側壁進行夾持限位，在對晶圓進行夾持限制的同時，多個弧形板的推動將保障晶圓處于微孔陶瓷真空吸盤的中心位置，隨后微孔陶瓷真空吸盤產生吸附力，在吸附力以及側壁夾持力的影響下，保障設備能夠對不同規格的晶圓進行夾持吸附處理。

本發明授權一種用于研磨拋光的晶圓粘片機在權利要求書中公布了：1.一種用于研磨拋光的晶圓粘片機，其特征在于，還包括： 固定機構（1），所述固定機構（1）的內部固定設置有固定組件（11），所述固定機構（1）的內壁固定設置有閉合組件（12），所述閉合組件（12）用于夾持限制晶圓的位置； 吸附機構（2），所述吸附機構（2）固定安裝在固定組件（11）的內壁，用于吸附晶圓，保障晶圓在研磨過程中，不會因為外部力的影響出現錯位； 限制機構（3），所述限制機構（3）固定安裝在吸附機構（2）的內壁，用于為吸附機構（2）的吸附提供動力； 其中，在使用前，先通過固定機構（1）將晶圓限制在固定機構（1）的頂部，隨后，限制機構（3）將外部的負壓力作用在吸附機構（2）內部，使得吸附機構（2）吸附晶圓； 所述固定機構（1）的內部設置有圓筒（13），所述圓筒（13）的內壁處固定連接有支架（111），所述支架（111）的頂部固定連接有安裝環（112），所述固定機構（1）包括： 固定組件（11），所述固定組件（11）固定設置在圓筒（13）的內壁，為吸附機構（2）與限制機構（3）提供安裝位置，并提供驅動的動力； 閉合組件（12），所述閉合組件（12）固定設置在圓筒（13）的內壁，固定組件（11）產生的動力將傳輸至閉合組件（12）； 其中，固定組件（11）產生的動力將傳輸至閉合組件（12），使得閉合組件（12）對外部的晶圓進行夾持限定； 所述吸附機構（2）包括： 吸附組件（21），所述吸附組件（21）通過吸附件固定設置在固定組件（11）的內部，用于對外部的晶圓進行負壓吸附； 所述吸附件包括固定連接在安裝環（112）內壁的固定支架（211），所述固定支架（211）的內壁處固定連接有微孔陶瓷真空吸盤（212），所述支架（111）的通孔內壁處滑動連接有傳輸管（213）； 排氣組件（22），所述排氣組件（22）通過傳輸件固定設置在支架（111）的內壁，為負壓的傳輸提供路徑； 所述傳輸件包括固定連接在傳輸管（213）內壁處的固定盤（221）； 其中，在外部負壓從傳輸管（213）進入，并作用在微孔陶瓷真空吸盤（212）的內壁，實現外部負壓的傳輸； 所述限制機構（3）包括： 限位組件（31），所述限位組件（31）通過支撐件固定設置在固定盤（221）的內壁，限制負壓傳輸的效率； 所述支撐件包括固定連接在支架（111）底部的四個固定桿（311），四個所述固定桿（311）的內壁處開設有限位槽（312）； 阻礙組件（32），所述阻礙組件（32）通過液壓件固定設置在固定支架（211）的頂部，利用壓縮力，限制傳輸管（213）的滑動； 所述液壓件包括貫通連接在固定支架（211）頂部的液壓伸縮桿（321），所述液壓伸縮桿（321）的外壁處固定連接有彈簧一（322）； 其中，在外部負壓進入傳輸管（213）內壁處時，負壓將通過固定盤（221）的通孔內壁，此時阻礙組件（32）將帶動限位組件（31）運行，并通過固定桿（311）的應用，限制傳輸管（213）的滑動。

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