中科蘇州微電子產業技術研究院萇鳳義獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中科蘇州微電子產業技術研究院申請的專利面向晶圓級測試的多探針協同接觸控制與調節方法及系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120539571B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510908480.X，技術領域涉及：G01R31/28；該發明授權面向晶圓級測試的多探針協同接觸控制與調節方法及系統是由萇鳳義設計研發完成，并于2025-07-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本面向晶圓級測試的多探針協同接觸控制與調節方法及系統在說明書摘要公布了：本發明提供面向晶圓級測試的多探針協同接觸控制與調節方法及系統，涉及晶圓級測試技術領域，包括通過獲取探針初始和目標位置信息生成軌跡規劃方案，采用多維度傳感器陣列采集探針數據并建立評估模型，構建優化目標函數，采用分層遞進式預測控制算法優化軌跡獲得子群控制參數，實現探針精確定位，并依據評估指標觸發參數優化循環。本發明有效提高了多探針協同運動精度與接觸可靠性。
本發明授權面向晶圓級測試的多探針協同接觸控制與調節方法及系統在權利要求書中公布了：1.面向晶圓級測試的多探針協同接觸控制與調節方法，其特征在于，包括： 獲取多探針測試系統中各探針的初始位置信息和目標測試點位置信息，生成初始探針位移軌跡規劃方案； 采用多維度異構傳感器陣列實時采集探針運動特征數據，基于所述探針運動特征數據，建立包含耦合干擾矩陣和同步偏差向量的探針群運動狀態評估模型； 根據所述探針群運動狀態評估模型輸出的耦合干擾矩陣和同步偏差向量，結合初始探針位移軌跡規劃方案，生成探針群運動優化目標函數； 基于所述探針群運動優化目標函數，采用分層遞進式預測控制算法進行軌跡優化，得到子群控制參數；根據所述子群控制參數在微觀層實現單探針精確定位控制，通過滑動時域窗口機制對各層預測模型進行動態優化； 根據所述探針群運動狀態評估模型計算當前接觸狀態的評估指標，將所述評估指標與預設評估閾值進行比對，當超出所述預設評估閾值范圍時，將評估結果反饋至所述探針群運動狀態評估模型，觸發參數優化循環。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中科蘇州微電子產業技術研究院，其通訊地址為：215009 江蘇省蘇州市蘇州工業園區金雞湖大道99號蘇州納米城1幢505、507；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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