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龍圖騰網獲悉法博思(寧波)半導體設備有限公司申請的專利一種晶圓搬運機器人自動示教系統及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120422205B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510928442.0，技術領域涉及：B25J9/00；該發明授權一種晶圓搬運機器人自動示教系統及方法是由宋金龍;周靖怡;張慶久設計研發完成，并于2025-07-07向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓搬運機器人自動示教系統及方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種晶圓搬運機器人自動示教系統及方法，通過設置晶圓對準設備對晶圓進行初始定位；利用包含伸出軸、旋轉軸及升降軸的晶圓運輸機器人夾取晶圓，并配合位移傳感模塊對晶圓邊緣進行多點檢測；通過自動示教控制模塊執行多輪速度遞減策略，獲取晶圓邊緣的多個切點信息，采用最小二乘法擬合圓形邊界，從而精確計算目標站點位置所對應的旋轉軸和伸出軸參數。最終通過人機交互模塊輸入升降軸參數，完成整個站點的自動示教過程。本發明顯著提高了站點參數獲取的精度、一致性和效率，適用于多臺設備間的一致化部署及設備位移后的快速重定位，提升了晶圓檢測和搬運系統的穩定性與智能化水平。

本發明授權一種晶圓搬運機器人自動示教系統及方法在權利要求書中公布了：1.一種晶圓搬運機器人自動示教系統，其特征在于，包括： 晶圓對準設備，配置為將晶圓校準至預設位置； 晶圓運輸機器人，包含伸出軸、旋轉軸及升降軸的運動機構1，末端設有片叉； 位移傳感模塊2，固定安裝于目標站點正上方，其光軸與站點中心垂直線重合，用于檢測晶圓邊緣通過時引發的光信號階躍突變； 自動示教控制模塊3，連接所述運動機構1和位移傳感模塊2，包括： 運動控制單元31，用于執行： 操作1，驅動所述晶圓運輸機器人將片叉中心移動至與校準后晶圓中心重合； 操作2，控制所述晶圓運輸機器人夾取晶圓并移動至所述位移傳感模塊2探測區外側； 操作3，以速度遞減策略驅動旋轉軸運動：首輪以速度運動至觸發信號突變，記錄此時的參數；退回后以速度同向運動至再次突變，記錄此時的參數；迭代直至旋轉軸角度收斂于穩定值，輸出切點； 操作4，繼續同向驅動旋轉軸至下一信號突變點，重復速度遞減策略獲取切點； 操作5，按預設規則改變伸出軸位置，重復操作3到操作4操作n次，生成切點對集合...； 數據處理單元32，連接所述運動控制單元31，用于執行： 操作6，將所述切點對集合中第n組的切點極坐標轉換為笛卡爾坐標； 操作7，基于最小二乘法擬合晶圓邊緣圓，基于所述笛卡爾坐標計算得到圓心坐標； 操作8，將所述圓心坐標轉換為目標站點的旋轉軸參數和伸出軸參數； 人機交互模塊4，連接所述自動示教控制模塊3，用于在所述晶圓運輸機器人運動至位置后，接收升降軸參數輸入并存儲完整站點數據。

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