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龍圖騰網(wǎng)獲悉江蘇中科智芯集成科技有限公司;智芯集成電路(徐州)有限公司申請(qǐng)的專利應(yīng)用于超薄晶圓劃片膠絲改良的工藝參數(shù)確定方法及系統(tǒng)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120524828B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-23發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202511014080.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06F30/27；該發(fā)明授權(quán)應(yīng)用于超薄晶圓劃片膠絲改良的工藝參數(shù)確定方法及系統(tǒng)是由黃濤;熊偉;楊夢(mèng)茹設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-07-23向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本應(yīng)用于超薄晶圓劃片膠絲改良的工藝參數(shù)確定方法及系統(tǒng)在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明涉及晶圓加工生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種應(yīng)用于超薄晶圓劃片膠絲改良的工藝參數(shù)確定方法及系統(tǒng)，包括：對(duì)待劃片作業(yè)的超薄晶圓進(jìn)行特性分析，獲得晶圓特性數(shù)據(jù)；將晶圓特性數(shù)據(jù)輸入至晶圓劃片分析模型中，獲得至少兩個(gè)劃片階段；針對(duì)每個(gè)劃片階段，將其對(duì)應(yīng)的目標(biāo)需求以及晶圓特性數(shù)據(jù)作為映射條件，在預(yù)先搭建的劃片刀具庫(kù)中進(jìn)行篩選，獲得該劃片階段對(duì)應(yīng)的最優(yōu)刀具；考慮最優(yōu)刀具對(duì)應(yīng)的刀具參數(shù)與晶圓特性數(shù)據(jù)之間的交互作用，確定該劃片階段對(duì)應(yīng)的最優(yōu)劃片工藝參數(shù)。其減少切割過(guò)程中的熱積累，減少膠絲殘留，提高產(chǎn)品良率。

本發(fā)明授權(quán)應(yīng)用于超薄晶圓劃片膠絲改良的工藝參數(shù)確定方法及系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種應(yīng)用于超薄晶圓劃片膠絲改良的工藝參數(shù)確定方法，其特征在于，包括： 對(duì)待劃片作業(yè)的超薄晶圓進(jìn)行特性分析，獲得晶圓特性數(shù)據(jù)； 將所述晶圓特性數(shù)據(jù)輸入至晶圓劃片分析模型中，獲得至少兩個(gè)劃片階段；所述劃片階段至少包括去應(yīng)力階段和分離階段； 針對(duì)每個(gè)所述劃片階段，將其對(duì)應(yīng)的目標(biāo)需求以及所述晶圓特性數(shù)據(jù)作為映射條件，在預(yù)先搭建的劃片刀具庫(kù)中進(jìn)行篩選，獲得該劃片階段對(duì)應(yīng)的最優(yōu)刀具； 考慮所述最優(yōu)刀具對(duì)應(yīng)的刀具參數(shù)與所述晶圓特性數(shù)據(jù)之間的交互作用，確定該劃片階段對(duì)應(yīng)的最優(yōu)劃片工藝參數(shù)；劃片工藝參數(shù)至少包括主軸轉(zhuǎn)速、劃片刀高以及切割速度； 在去應(yīng)力階段，結(jié)合最優(yōu)刀具的刀具參數(shù)與晶圓特性，通過(guò)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證不同參數(shù)組合下的應(yīng)力釋放效果，設(shè)定切削熱閾值以及應(yīng)力釋放均勻性指標(biāo)，構(gòu)建多目標(biāo)優(yōu)化函數(shù)，求解使應(yīng)力釋放充分且無(wú)過(guò)度損傷的主軸轉(zhuǎn)速、劃片刀高和切割速度組合，作為去應(yīng)力階段的最優(yōu)劃片工藝參數(shù)； 在分離階段，依據(jù)最優(yōu)刀具的刀具參數(shù)與晶圓特性，分析參數(shù)對(duì)切割邊緣崩裂和膠絲生成的影響，以切割邊緣崩裂尺寸與膠絲密度為約束，結(jié)合刀具壽命和產(chǎn)能需求，優(yōu)化主軸轉(zhuǎn)速、劃片刀高和切割速度，作為分離階段的最優(yōu)劃片工藝參數(shù)。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人江蘇中科智芯集成科技有限公司;智芯集成電路(徐州)有限公司，其通訊地址為：221225 江蘇省徐州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)創(chuàng)業(yè)路26號(hào)鳳凰灣電子信息產(chǎn)業(yè)園101-106廠房；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。