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龍圖騰網獲悉濟南晶正電子科技有限公司申請的專利一種用于端面拋光的夾具及其使用方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111451919B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010361380.7，技術領域涉及：B24B29/02；該發明授權一種用于端面拋光的夾具及其使用方法是由王金翠;胡卉;張秀全;朱厚彬;李真宇設計研發完成，并于2020-04-30向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種用于端面拋光的夾具及其使用方法在說明書摘要公布了：本申請公開一種用于端面拋光的夾具及其使用方法，夾具包括：容置槽體、上護板、砝碼柱和若干個砝碼；所述容置槽體包括底板和側板，所述側板上設置有至少三個調節螺釘；所述上護板位于所述容置槽體內，且所述上護板與所述調節螺釘垂直；所述砝碼柱固定在所述底板，且與所述底板垂直；所述砝碼的中心設置有套孔，通過所述套孔，所述砝碼套設在所述砝碼柱上。以解決現有夾具無法實現在不同拋光階段對樣品施加不同壓力的問題。

本發明授權一種用于端面拋光的夾具及其使用方法在權利要求書中公布了：1.一種用于端面拋光的夾具，其特征在于，所述用于端面拋光的夾具的應用對象為無解理面晶體材料晶圓，所述夾具包括：容置槽體（1）、上護板（2）、砝碼柱（3）和若干個砝碼（4）； 所述容置槽體（1）包括底板（11）和側板（12），所述側板（12）上設置有至少三個調節螺釘（121）；所述上護板（2）位于所述容置槽體（1）內，且所述上護板（2）與所述調節螺釘（121）垂直；所述砝碼柱（3）固定在所述底板（11）上，且與所述底板（11）垂直； 所述砝碼（4）的中心設置有套孔（41），通過所述套孔（41），所述砝碼（4）套設在所述砝碼柱（3）上； 所述套孔（41）在所述底板（11）上的正投影覆蓋所述砝碼柱（3）在所述底板（11）上的正投影；所述底板（11）在所述砝碼柱（3）延伸方向上的投影覆蓋套設在所述砝碼柱（3）上的所述砝碼（4）；通過調整套在砝碼柱（3）上的砝碼（4）的個數，或者選擇不同重量級的砝碼（4）套設在砝碼柱（3）上，能夠調節壓在樣品上的砝碼（4）重量，以在不同拋光階段對樣品施加不同的壓力，或在不同樣品拋光過程中對樣品施加所需壓力；其中，針對不同樣品制定砝碼重量與壓力值的對應關系表，以在所述對應關系表中查找不同拋光階段所需壓力對應的重量，根據所需壓力對應的重量在砝碼柱上套設砝碼，進行該階段的拋光； 還包括下護板（5），所述下護板（5）位于所述容置槽體（1）內，且與所述上護板（2）相對設置； 所述上護板（2）和所述下護板（5）的相對面均設置有緩沖層（6）。

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