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龍圖騰網(wǎng)獲悉應(yīng)用材料公司申請的專利多區(qū)靜電吸盤獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114830322B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-19發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202080088027.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/683；該發(fā)明授權(quán)多區(qū)靜電吸盤是由M·S·K·穆蒂亞拉;S·卡瑪斯;D·帕德希設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-12-15向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本多區(qū)靜電吸盤在說明書摘要公布了：示例性的半導(dǎo)體處理腔室可包含底座，底座包含平臺(tái)，平臺(tái)被配置為跨平臺(tái)的表面支撐半導(dǎo)體基板。腔室可包括第一導(dǎo)電網(wǎng)，第一導(dǎo)電網(wǎng)結(jié)合在平臺(tái)內(nèi)并且構(gòu)造成用作第一吸附網(wǎng)。第一導(dǎo)電網(wǎng)可以跨平臺(tái)徑向延伸。腔室可包括第二導(dǎo)電網(wǎng)，第二導(dǎo)電網(wǎng)結(jié)合在平臺(tái)內(nèi)并且構(gòu)造成用作第二吸附網(wǎng)。第二導(dǎo)電網(wǎng)的特征可在于環(huán)形。第二導(dǎo)電網(wǎng)可設(shè)置在第一導(dǎo)電網(wǎng)和平臺(tái)的表面之間。

本發(fā)明授權(quán)多區(qū)靜電吸盤在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體處理腔室，包含： 底座，所述底座包含平臺(tái)，所述平臺(tái)被配置為跨所述平臺(tái)的表面支撐半導(dǎo)體基板； 第一導(dǎo)電網(wǎng)，所述第一導(dǎo)電網(wǎng)結(jié)合在所述平臺(tái)內(nèi)，并且所述第一導(dǎo)電網(wǎng)經(jīng)配置成用作第一吸附網(wǎng)，其中所述第一導(dǎo)電網(wǎng)跨所述平臺(tái)徑向延伸； 第二導(dǎo)電網(wǎng)，所述第二導(dǎo)電網(wǎng)結(jié)合在所述平臺(tái)內(nèi)，并且所述第二導(dǎo)電網(wǎng)經(jīng)配置成用作第二吸附網(wǎng)，其中所述第二導(dǎo)電網(wǎng)的特征在于為環(huán)形，并且其中所述第二導(dǎo)電網(wǎng)設(shè)置在所述第一導(dǎo)電網(wǎng)和所述平臺(tái)的所述表面之間；以及 第一熱電偶，所述第一熱電偶與所述第二導(dǎo)電網(wǎng)相關(guān)聯(lián)以測量所述第二導(dǎo)電網(wǎng)的區(qū)域內(nèi)的溫度。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人應(yīng)用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。