應用材料公司O·盧爾獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉應用材料公司申請的專利用于邊緣均勻性控制的可調整的延伸電極獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN108376657B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201711214844.6，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權用于邊緣均勻性控制的可調整的延伸電極是由O·盧爾;L·多爾夫;S·斯里尼瓦杉;R·丁德薩;J·羅杰斯;D·M·庫薩設計研發完成，并于2017-11-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于邊緣均勻性控制的可調整的延伸電極在說明書摘要公布了：本文中描述的實施例大體涉及一種基板處理設備。在一個實施例中，本文中公開了一種用于基板處理腔室的工藝套件。工藝套件包括：環，環具有第一環部件和第二環部件；可調整調諧環；以及致動機構。第一環部件與第二環部件對接，使得第二環部件相對于第一環部件是可移動的，從而在這兩者之間形成間隙。可調整調諧環定位在環下方并且接觸第二環部件的底表面。可調整調諧環的頂表面接觸第二環部件。致動機構與可調整調諧環的底表面對接。致動機構被配置為致動可調整調諧環，使得第一環部件與第二環部件之間的間隙變化。
本發明授權用于邊緣均勻性控制的可調整的延伸電極在權利要求書中公布了：1.一種用于基板處理腔室的工藝套件，所述工藝套件包括： 邊緣環，所述邊緣環具有第一環部件和第二環部件，所述第一環部件與所述第二環部件對接，使得所述第二環部件相對于所述第一環部件是可移動的，從而在這兩者之間形成間隙； 可調整調諧環，所述可調整調諧環被定位在所述邊緣環下方并且接觸所述第二環部件的底表面，所述可調整調諧環具有有頂表面和底表面的環形主體、形成在所述環形主體的底表面中的空腔、以及形成在所述環形主體中的進出孔口，所述進出孔口從所述環形主體的所述頂表面延伸到所述空腔中，所述環形主體的所述頂表面接觸所述第二環部件；以及 致動機構，所述致動機構與所述可調整調諧環的所述環形主體的底表面對接，所述致動機構被配置為致動所述可調整調諧環，使得所述第一環部件與所述第二環部件之間的所述間隙變化。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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