華為技術有限公司秦德君獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉華為技術有限公司申請的專利感光性樹脂、感光性樹脂組合物、固化物、圖案形成方法以及集成電路器件獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114721223B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202011533638.3,技術領域涉及:G03F7/039;該發明授權感光性樹脂、感光性樹脂組合物、固化物、圖案形成方法以及集成電路器件是由秦德君設計研發完成,并于2020-12-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本感光性樹脂、感光性樹脂組合物、固化物、圖案形成方法以及集成電路器件在說明書摘要公布了:本申請涉及一種感光性樹脂、感光性樹脂組合物、固化物、圖案形成方法以及集成電路器件。本申請的感光性樹脂至少在主鏈中包括以下通式1所示的源自四羧酸二酐的結構單元和以下通式2所示的源自二胺的結構單元:通式1中,X表示四價有機基團;通式2中,Y1表示具有1個以上的源自偶氮苯化合物的二價有機基團。本申請的感光性樹脂組合物包含該感光性樹脂。本申請的固化物由本申請的感光性樹脂組合物形成。本申請的圖案形成方法使用本申請的感光性樹脂組合物。本申請的集成電路器件配置有本申請的固化物的層。
本發明授權感光性樹脂、感光性樹脂組合物、固化物、圖案形成方法以及集成電路器件在權利要求書中公布了:1.一種感光性樹脂,其特征在于,至少在主鏈中包括以下通式1所示的源自四羧酸二酐的結構單元、以下通式2所示的源自二胺的結構單元和以下通式4所示的源自二胺的結構單元: 通式1中,X表示四價有機基團;通式2中,Y1表示具有1個以上的源自偶氮苯化合物的二價有機基團, 通式4中,Y2表示具有源自醌二疊氮化合物的基團和1~4個芳香族環的二價有機基團。
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