東芝三菱電機產業系統株式會社有田廉獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉東芝三菱電機產業系統株式會社申請的專利活性氣體生成裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114982382B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202080091607.9,技術領域涉及:H05H1/24;該發明授權活性氣體生成裝置是由有田廉;渡邊謙資設計研發完成,并于2020-12-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本活性氣體生成裝置在說明書摘要公布了:本發明的目的在于提供一種活性氣體生成裝置,不使活性氣體的生成量降低地能夠實現供電空間中的絕緣耐性的提高。本發明的活性氣體生成裝置100中的箱體7具有沿著中央底面區域78的外周設置且形成高度高于中央底面區域78的周邊階差區域79。通過設置在周邊階差區域79上的高壓電極用介電膜1而設置對供電空間8與包含放電空間3的活性氣體生成空間之間的氣體流動進行分離的氣體分離構造。設置在箱體7外部的真空泵15將供電空間8設定為真空狀態。
本發明授權活性氣體生成裝置在權利要求書中公布了:1.一種活性氣體生成裝置,通過向產生有介電勢壘放電的放電空間供給原料氣體而使上述原料氣體活化而生成活性氣體,具備: 第1電極用介電膜; 第2電極用介電膜,設置在上述第1電極用介電膜的下方; 第1供電體,形成在上述第1電極用介電膜的上表面上,具有導電性;以及 第2供電體,形成在上述第2電極用介電膜的下表面上, 上述第1供電體被施加交流電壓,上述第2供電體被設定為接地電位,在上述第1及第2電極用介電膜相對置的電介質空間內包含有上述放電空間, 上述第2電極用介電膜具有用于將上述活性氣體向下方噴出的氣體噴出孔, 上述活性氣體生成裝置還具備箱體,該箱體具有導電性,收容上述第1及第2電極用介電膜和上述第1及第2供電體,在上述箱體的內部,在上述第1供電體的上方設置有供電空間, 上述箱體具有: 原料氣體導入口,從外部接受上述原料氣體; 氣體中繼區域,用于將上述原料氣體向上述放電空間供給;以及 箱體用氣體噴出孔,用于將從上述氣體噴出孔噴出的上述活性氣體向下方噴出, 從上述原料氣體導入口經由上述氣體中繼區域以及上述放電空間而到達上述箱體用氣體噴出孔的空間,被規定為活性氣體生成空間, 通過上述箱體和上述第1電極用介電膜,設置將上述活性氣體生成空間與上述供電空間之間的氣體流動進行分離的氣體分離構造, 上述活性氣體生成裝置還具備真空泵,該真空泵設置在上述箱體的外部,將上述供電空間設定為真空狀態。
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