福建省佑達(dá)環(huán)保材料有限公司劉小勇獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉福建省佑達(dá)環(huán)保材料有限公司申請(qǐng)的專利一種用于集成電路的厚膜光刻膠顯影液組合物獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN115981118B 。
龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-19發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202310043699.9,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G03F7/32;該發(fā)明授權(quán)一種用于集成電路的厚膜光刻膠顯影液組合物是由劉小勇;黃曉莉;房龍翔;葉鑫煌;肖小江;劉文生設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2023-01-29向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本一種用于集成電路的厚膜光刻膠顯影液組合物在說(shuō)明書(shū)摘要公布了:本發(fā)明公開(kāi)了一種用于集成電路的厚膜光刻膠顯影液組合物,屬于濕電子化學(xué)品領(lǐng)域。按質(zhì)量百分?jǐn)?shù)之和為100%計(jì),所述組合物中各組分及其所占質(zhì)量百分?jǐn)?shù)為:無(wú)機(jī)堿0.1?5%、顯影增強(qiáng)劑0.1?5%、穩(wěn)定劑0.1?5%、表面活性劑0.1?2%,余量為水;所用表面活性劑的化學(xué)結(jié)構(gòu)式為(n=1~15,p、e=1~6),其具有優(yōu)異的顯影性能,能保證顯影速率,并確保顯影過(guò)程中顯影性能的均勻性及顯影圖案的精度,同時(shí),其可提高顯影液對(duì)光刻膠的分散性,避免出現(xiàn)光刻膠殘留。所得顯影液組合物泡沫小,易于漂洗,潤(rùn)濕性好,不在芯片上產(chǎn)生殘留,對(duì)環(huán)境友好,適用于集成電路芯片代加工和封裝過(guò)程中使用的厚膜光刻膠的顯影。
本發(fā)明授權(quán)一種用于集成電路的厚膜光刻膠顯影液組合物在權(quán)利要求書(shū)中公布了:1.一種用于集成電路的厚膜光刻膠顯影液組合物,其特征在于,按質(zhì)量百分?jǐn)?shù)之和為100%計(jì),所述組合物中各組分及其所占質(zhì)量百分?jǐn)?shù)為:無(wú)機(jī)堿0.1-5%、顯影增強(qiáng)劑0.1-5%、穩(wěn)定劑0.1-5%、表面活性劑0.1-2%,余量為水; 所述表面活性劑的化學(xué)結(jié)構(gòu)式為:, 其中n為1~15的整數(shù),p、e為1-6的整數(shù)。
如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人福建省佑達(dá)環(huán)保材料有限公司,其通訊地址為:362800 福建省泉州市泉港區(qū)南埔鎮(zhèn)柯厝村石化園區(qū)南山片區(qū)天盈路8號(hào);或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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