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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京特思迪半導(dǎo)體設(shè)備有限公司申請(qǐng)的專利峰值提取方法、厚度測(cè)量方法及設(shè)備獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120234596B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510730164.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06F18/213；該發(fā)明授權(quán)峰值提取方法、厚度測(cè)量方法及設(shè)備是由汪岳鵬;蔣繼樂設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-06-03向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本峰值提取方法、厚度測(cè)量方法及設(shè)備在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種峰值提取方法、厚度測(cè)量方法及設(shè)備。應(yīng)用于高精度測(cè)量領(lǐng)域。該方法包括：獲取第N幀晶圓的光譜信號(hào)及第N?1幀光譜信號(hào)的主峰峰值和次峰峰值，其中，N為大于等于2的整數(shù)；獲取預(yù)設(shè)參數(shù)，并將所述第N?1幀光譜信號(hào)的所述主峰峰值、所述次峰峰值及所述預(yù)設(shè)參數(shù)作為雙峰pseudoVoigt擬合方程的初始猜測(cè)值，對(duì)第N幀光譜信號(hào)進(jìn)行擬合，得到第N幀光譜信號(hào)的主峰峰值和次峰峰值。本發(fā)明提高了獲取第N幀光譜信號(hào)主峰峰值和次峰峰值的準(zhǔn)確性。

本發(fā)明授權(quán)峰值提取方法、厚度測(cè)量方法及設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種峰值提取方法，其特征在于，包括： 獲取第N幀晶圓的光譜信號(hào)及第N-1幀光譜信號(hào)的主峰峰值和次峰峰值，其中，N為大于等于2的整數(shù)； 獲取預(yù)設(shè)參數(shù)，并將所述第N-1幀光譜信號(hào)的所述主峰峰值、所述次峰峰值及所述預(yù)設(shè)參數(shù)作為雙峰pseudoVoigt擬合方程的初始猜測(cè)值，對(duì)第N幀光譜信號(hào)進(jìn)行擬合，得到第N幀光譜信號(hào)的主峰峰值和次峰峰值； 其中，獲取晶圓的第一幀光譜信號(hào)； 根據(jù)預(yù)設(shè)強(qiáng)度閾值對(duì)第一幀光譜信號(hào)進(jìn)行峰提取； 當(dāng)提取到一個(gè)峰時(shí)，確定峰的峰值為主峰峰值； 獲取厚度猜測(cè)值； 利用厚度方程根據(jù)所述厚度猜測(cè)值和主峰峰值反向求解得到次峰峰值； 將所述主峰峰值和所述次峰峰值作為雙峰pseudoVoigt擬合方程的初始猜測(cè)值，對(duì)第一幀光譜信號(hào)進(jìn)行擬合，得到第一幀光譜信號(hào)的主峰峰值和次峰峰值； 當(dāng)提取到兩個(gè)峰時(shí)，確定兩個(gè)峰的峰值分別為主峰峰值和次峰峰值； 將主峰峰值和次峰峰值作為雙峰pseudoVoigt擬合方程的初始猜測(cè)值，對(duì)第一幀光譜信號(hào)進(jìn)行擬合，得到第一幀光譜信號(hào)的主峰峰值和次峰峰值。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人北京特思迪半導(dǎo)體設(shè)備有限公司，其通訊地址為：101300 北京市順義區(qū)杜楊北街3號(hào)院6號(hào)樓(順創(chuàng))；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。