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龍圖騰網獲悉中山大學申請的專利結合虛實探針的超高時空分辨率納米結構測量系統及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120274682B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510749558.8，技術領域涉及：G01B11/30；該發明授權結合虛實探針的超高時空分辨率納米結構測量系統及方法是由梁浩文;廖喬林設計研發完成，并于2025-06-06向國家知識產權局提交的專利申請。

本結合虛實探針的超高時空分辨率納米結構測量系統及方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種結合虛實探針的超高時空分辨率納米結構測量系統及方法，該系統包括：信號產生模塊，用于生成脈沖信號；矢量光場產生模塊，用于基于脈沖信號輸出徑向偏振光和或角向偏振光；正置物鏡，用于將徑向偏振光和或角向偏振光聚焦至樣品上的待測像素點；實體探針，用于當矢量光場產生模塊僅輸出徑向偏振光，在待測像素點的近場位置上生成散射光信號；探測模塊，用于探測待測像素點產生的光信號，并基于光信號確定待測像素點的探測結果；處理器，用于基于樣品的待測區域中若干個待測像素點的探測結果，確定待測區域的納米結構測量結果。本發明實施例能夠提高對納米結構進行測量的時空分辨率，可廣泛應用于納米結構測量領域。

本發明授權結合虛實探針的超高時空分辨率納米結構測量系統及方法在權利要求書中公布了：1.一種結合虛實探針的超高時空分辨率納米結構測量系統，其特征在于，包括： 信號產生模塊，用于生成脈沖信號；所述脈沖信號包括相對延遲時間可調的泵浦脈沖和探測脈沖； 虛擬探針，由矢量光場產生模塊以及正置物鏡構成；所述矢量光場產生模塊用于基于所述脈沖信號輸出徑向偏振光和或角向偏振光；所述正置物鏡用于將所述徑向偏振光和或角向偏振光聚焦至樣品上的待測像素點；所述矢量光場產生模塊包括：線偏振片，用于改變所述脈沖信號的偏振狀態，得到線偏振光；渦旋半波片，用于將所述線偏振光轉換為徑向偏振光和或角向偏振光；當所述矢量光場產生模塊輸出徑向偏振光和角向偏振光，所述矢量光場產生模塊還包括：環形光闌，用于對所述徑向偏振光和所述角向偏振光進行調制，以使調制后的徑向偏振光經過所述正置物鏡聚焦后產生第一預設尺寸的聚焦焦斑，以及調制后的角向偏振光經過所述正置物鏡聚焦后產生第二預設尺寸的空心孔聚焦焦斑； 實體探針，用于當所述矢量光場產生模塊僅輸出徑向偏振光，在所述待測像素點的近場位置上生成散射光信號； 載物臺，用于裝載以及移動所述樣品至預設位置； 倒置物鏡，用于將所述待測像素點生成的光信號中的透射部分聚焦至探測模塊； 分束鏡，用于將所述待測像素點生成的光信號中的反射部分進入探測模塊； 探測模塊，用于探測所述待測像素點產生的光信號，并基于所述光信號確定所述待測像素點的探測結果；所述探測結果包括反射結果和或透射結果； 處理器，用于基于所述樣品的待測區域中若干個待測像素點的探測結果，確定所述待測區域的納米結構測量結果。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中山大學，其通訊地址為：510275 廣東省廣州市海珠區新港西路135號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。