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龍圖騰網(wǎng)獲悉勝科納米(蘇州)股份有限公司申請的專利一種芯片截面結(jié)構(gòu)研磨中精確定位的無損方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120480677B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510999351.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B24B1/00；該發(fā)明授權(quán)一種芯片截面結(jié)構(gòu)研磨中精確定位的無損方法是由朱雷;王巖松;梁偉德;李曉旻設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-07-21向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種芯片截面結(jié)構(gòu)研磨中精確定位的無損方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供了一種芯片截面結(jié)構(gòu)研磨中精確定位的無損方法，屬于半導體器件分析與制樣技術(shù)領(lǐng)域，重點在于采用沉積鍍膜方式，在待研磨芯片樣品的目標研磨位置兩側(cè)對稱設(shè)置凸起標識圖標，實現(xiàn)芯片截面結(jié)構(gòu)研磨中精確定位。本發(fā)明所述無損方法采用凸起膜層作為凸起標識圖標，對目標電子線路全程無損，標識圖標只使用一排大小漸變的圖標，為研磨的工作人員實時提醒研磨進度，提高研磨效率，又快又準達到機械研磨的目標位置。

本發(fā)明授權(quán)一種芯片截面結(jié)構(gòu)研磨中精確定位的無損方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種芯片截面結(jié)構(gòu)研磨中精確定位的無損方法，其特征在于，所述無損方法包括如下步驟： （1）準備待研磨芯片樣品并在其表面確定目標研磨位置； （2）采用沉積鍍膜方式，在所述目標研磨位置兩側(cè)對稱設(shè)置凸起標識圖標，實現(xiàn)芯片截面結(jié)構(gòu)研磨中精確定位；其中，平行于研磨方向，所述凸起標識圖標的底邊與所述目標研磨位置保持在同一條直線上；在所述目標研磨位置兩側(cè)對稱設(shè)置至少3組不同尺寸的凸起標識圖標；垂直于研磨方向并靠近所述目標研磨位置的方向，所述凸起標識圖標的尺寸減小。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人勝科納米(蘇州)股份有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城西北區(qū)09棟507室；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。