浙江拓感科技有限公司張傳杰獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉浙江拓感科技有限公司申請的專利基于圖形化藍寶石襯底的碲鎘汞材料液相外延方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120519960B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-16發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202511031516.7,技術領域涉及:C30B29/48;該發明授權基于圖形化藍寶石襯底的碲鎘汞材料液相外延方法是由張傳杰;孫維國;胡婉珍設計研發完成,并于2025-07-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本基于圖形化藍寶石襯底的碲鎘汞材料液相外延方法在說明書摘要公布了:本發明屬于紅外探測器制造技術領域,具體提供一種基于圖形化藍寶石襯底的碲鎘汞材料液相外延方法,包括:提供一面為拋光面而另一面為納米壓印面的藍寶石襯底,納米壓印面上壓印有正六棱錐凸形點陣結構,在正六棱錐凸形點陣結構的表面上采用金屬有機化學氣相沉積技術生長碲鋅鎘過渡層,生長結束后進行原位退火,然后放入液相外延系統中,在碲鋅鎘過渡層上再液相外延碲鎘汞材料。藍寶石襯底強度高,在制備器件的工藝過程中和器件工作受到高低溫沖擊時不會開裂,本方法可降低外延材料的缺陷密度、提升材料均勻性及實現大面積碲鎘汞外延材料制備,以滿足第三代紅外焦平面陣列對低成本、大面陣探測器的需求。
本發明授權基于圖形化藍寶石襯底的碲鎘汞材料液相外延方法在權利要求書中公布了:1.一種基于圖形化藍寶石襯底的碲鎘汞材料液相外延方法,其特征在于,包括以下步驟:提供一面為拋光面而另一面為納米壓印面的藍寶石襯底,納米壓印面上壓印有正六棱錐凸形點陣結構;在正六棱錐凸形點陣結構的表面上采用金屬有機化學氣相沉積技術生長碲鋅鎘過渡層,生長結束后進行原位退火,退火后執行下列步驟:首先將設置有三溫區的液相外延系統抽真空至10-6Torr后充入純度≥99.99999%的氮氣作為保護氣體,將帶有碲鋅鎘過渡層的襯底置于液相外延系統的生長區,達到生長所需的溫度后生長碲鎘汞外延材料,達到所需的厚度后以5℃min速率降溫至100℃±3℃,再以5℃min速率升溫至350℃,在350℃溫度下原位退火5小時后以5℃min速率降溫至室溫。
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