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龍圖騰網(wǎng)獲悉三井金屬礦業(yè)株式會(huì)社申請(qǐng)的專利濺射靶及其制造方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114651086B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202080078115.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/34；該發(fā)明授權(quán)濺射靶及其制造方法是由寺村享祐設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-06-24向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本濺射靶及其制造方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及能夠?qū)⒙N曲了的圓筒形基材用作構(gòu)成材料的濺射靶及其制造方法，提供一種新型的濺射靶的制造方法，其中，即使圓筒形靶材的軸向長(zhǎng)度較長(zhǎng)，或者即使經(jīng)過接合材料填充時(shí)的加熱，也能夠消除圓筒形基材的翹曲。本發(fā)明提出了一種濺射靶的制造方法，其特征在于，測(cè)定圓筒形基材的翹曲幅度，進(jìn)行使圓筒形基材向與翹曲了的方向相反的方向翹曲的加工，在上述加工后的圓筒形基材的外側(cè)，沿軸向隔開間隔地排列配置多個(gè)圓筒形靶材，用接合材料將上述圓筒形基材與上述圓筒形靶材接合。

本發(fā)明授權(quán)濺射靶及其制造方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種濺射靶的制造方法，其特征在于，其是具備圓筒形基材和圓筒形靶材的濺射靶的制造方法，所述濺射靶的制造方法包含下述工序： 測(cè)定圓筒形基材的翹曲幅度的測(cè)定工序， 進(jìn)行使圓筒形基材向與翹曲了的方向相反的方向反過來翹曲的加工以達(dá)到該圓筒形基材從直線軸翹曲的狀態(tài)的加工工序， 在所述加工后的圓筒形基材的外側(cè)，沿軸向隔開間隔地排列配置多個(gè)圓筒形靶材，用接合材料將該圓筒形基材與所述圓筒形靶材接合， 在所述測(cè)定工序中，在加熱了所述圓筒形基材后，測(cè)定加熱后的圓筒形基材的翹曲幅度Y， 在所述加工工序中，在所述測(cè)定工序中測(cè)得了翹曲幅度Y的情況下，進(jìn)行使圓筒形基材向與翹曲了的方向相反的方向反過來僅翹曲Y×0.50～1.50的幅度的加工以達(dá)到該圓筒形基材從直線軸翹曲的狀態(tài)。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人三井金屬礦業(yè)株式會(huì)社，其通訊地址為：日本東京；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。