中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所賈鵬獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所申請(qǐng)的專利一種輸出帶狀光斑的半導(dǎo)體激光列陣及其制備方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN115149401B 。
龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202210895544.3,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01S5/40;該發(fā)明授權(quán)一種輸出帶狀光斑的半導(dǎo)體激光列陣及其制備方法是由賈鵬;梁磊;陳泳屹;秦莉;王立軍設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2022-07-27向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本一種輸出帶狀光斑的半導(dǎo)體激光列陣及其制備方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了:本發(fā)明實(shí)施例中的輸出帶狀光斑的半導(dǎo)體激光列陣,解決半導(dǎo)體激光列陣的片上集成光束整形問(wèn)題。通過(guò)采用基于片上集成慢軸準(zhǔn)直鏡和高填充因子單模波導(dǎo)作為列陣的光束整形和功率放大元件,在大電流工作狀態(tài)下保證列陣各激光單元發(fā)射光束的慢軸發(fā)散角經(jīng)過(guò)準(zhǔn)直后,實(shí)現(xiàn)慢軸發(fā)散角壓縮,同時(shí)保留快軸發(fā)散角不變,獲得線狀光斑輸出,同時(shí)利用單模波導(dǎo)列陣的密集排布,沿慢軸方面將各單元的線狀光斑進(jìn)行空間疊加,形成高功率密度,能量分布均勻的帶狀光斑。相應(yīng)地,制備方法具有全表面圖形制備,工藝簡(jiǎn)單,結(jié)構(gòu)緊湊的優(yōu)點(diǎn)。
本發(fā)明授權(quán)一種輸出帶狀光斑的半導(dǎo)體激光列陣及其制備方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了:1.一種輸出帶狀光斑的半導(dǎo)體激光列陣,其特征在于,包括外延片的P面制備激光器波導(dǎo)結(jié)構(gòu),沿X方向自反射面至出光面,依次為等間距排布的高填充因子單模波導(dǎo)列陣和片上集成慢軸準(zhǔn)直透鏡,所述高填充因子單模波導(dǎo)列陣和所述片上集成慢軸準(zhǔn)直介質(zhì)透鏡光軸重合,所述高填充因子單模波導(dǎo)列陣的進(jìn)光側(cè)設(shè)有高反膜,所述高填充因子單模波導(dǎo)列陣的出光側(cè)設(shè)有抗反膜,通過(guò)所述高反膜、所述高填充因子單模波導(dǎo)列陣、所述抗反膜構(gòu)建諧振腔,所述高填充因子單模波導(dǎo)列陣包括多個(gè)等間距排布的激光單元,利用所述激光單元輸出光束經(jīng)過(guò)同光軸的所述片上集成慢軸準(zhǔn)直透鏡,使得各激光單元光束的慢軸發(fā)散角降低至預(yù)設(shè)角度,保持快軸方向不進(jìn)行準(zhǔn)直,將快慢軸光束發(fā)散角的比值提升至目標(biāo)比值,將各激光單元輸出光束整形成為線狀光斑,結(jié)合所述高填充因子單模波導(dǎo)列陣輸出的光斑,在距離出光面預(yù)設(shè)距離的平面上形成帶狀光斑; 所述外延片沿Z方向自下而上依次為N面電極、N型襯底、N型包層、N型波導(dǎo)層、有源層、P型波導(dǎo)層、P型包層、P面電極; 所述激光器波導(dǎo)結(jié)構(gòu)由部分所述P型波導(dǎo)層、所述P型包層和所述P面電極構(gòu)成; 相鄰所述激光單元之間的間距為15微米至60微米。
如需購(gòu)買(mǎi)、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類(lèi)似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所,其通訊地址為:130033 吉林省長(zhǎng)春市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)東南湖大路3888號(hào);或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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