福建省晉華集成電路有限公司張欽福獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉福建省晉華集成電路有限公司申請的專利半導(dǎo)體存儲裝置及其制作方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN115472610B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202211008223.3,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10B12/00;該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體存儲裝置及其制作方法是由張欽福;童宇誠設(shè)計研發(fā)完成,并于2022-08-22向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本半導(dǎo)體存儲裝置及其制作方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體存儲裝置及其制作方法,其包括襯底;多個埋藏字線;與多個存儲節(jié)點插塞。襯底內(nèi)包括多個有源區(qū)與淺溝槽隔離。埋藏字線埋設(shè)在襯底內(nèi),穿過淺溝槽隔離或有源區(qū)內(nèi)。存儲節(jié)點插塞設(shè)置在襯底上并接觸有源區(qū),存儲節(jié)點插塞包括多個第一插塞,分別包括由下而上依序堆迭的絕緣材質(zhì)與導(dǎo)電材質(zhì)。半導(dǎo)體存儲裝置的至少一個有源區(qū)是同時接觸兩個第一插塞;或者,半導(dǎo)體存儲裝置還包括存儲節(jié)點焊盤,物理性接觸至少二個第一插塞。由此,本發(fā)明有利于形成組件可靠度較佳的半導(dǎo)體存儲裝置。
本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體存儲裝置及其制作方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種半導(dǎo)體存儲裝置,其特征在于包括: 襯底,所述襯底內(nèi)包括多個有源區(qū)與淺溝槽隔離; 多個埋藏字線,埋設(shè)在所述襯底內(nèi),穿過所述淺溝槽隔離或所述有源區(qū); 多個絕緣側(cè)壁,設(shè)置在所述襯底上,部分所述絕緣側(cè)壁位于所述埋藏字線的正上方; 多個存儲節(jié)點插塞,設(shè)置在所述襯底上并接觸所述有源區(qū),所述存儲節(jié)點插塞包括多個第一插塞,其中各所述第一插塞分別包括由下而上依序堆疊的絕緣材質(zhì)與導(dǎo)電材質(zhì);以及 多個存儲節(jié)點焊盤,設(shè)置在所述存儲節(jié)點插塞上,所述存儲節(jié)點焊盤中的一個同時物理性接觸至少二個所述第一插塞。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人福建省晉華集成電路有限公司,其通訊地址為:362200 福建省泉州市晉江市集成電路科學(xué)園聯(lián)華大道88號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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