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龍圖騰網獲悉杭州富芯半導體有限公司申請的專利離子注入工藝中定向器的監測方法、裝置及存儲介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116207010B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211743622.4，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權離子注入工藝中定向器的監測方法、裝置及存儲介質是由蘇文華;李振雨設計研發完成，并于2022-12-28向國家知識產權局提交的專利申請。

本離子注入工藝中定向器的監測方法、裝置及存儲介質在說明書摘要公布了：本申請提供了離子注入工藝中定向器的監測方法、裝置及存儲介質；所述方法包括：確定一個往返行程內信號發生器發射的光信號的第一光強；確定信號接收器接收的光信號的第二光強和所述信號接收器的位置信息；基于所述一個移動周期內所述信號接收器的位置信息確定所述定向器是否異常，和或基于所述第一光強與所述第二光強確定所述定向器是否異常；其中，所述信號發生器和所述信號接收器分別位于晶圓圓周的兩側，所述一個往返行程為所述信號接收器在定向器的電機的驅動下，在所述信號接收器可移動范圍內的起始點移動至終點后，再回到所述起始點的行程。

本發明授權離子注入工藝中定向器的監測方法、裝置及存儲介質在權利要求書中公布了：1.一種離子注入工藝中定向器的檢測方法，其特征在于，所述方法包括： 確定一個往返行程內信號發生器發射的光信號的第一光強； 確定信號接收器接收的光信號的第二光強和所述信號接收器的位置信息； 基于一個移動周期內所述信號接收器的位置信息確定所述定向器是否異常，和或基于所述第一光強與所述第二光強確定所述定向器是否異常； 其中，所述信號發生器和所述信號接收器分別位于晶圓圓周的兩側，所述一個往返行程為所述信號接收器在定向器的電機的驅動下，在所述信號接收器可移動范圍內的起始點移動至終點后，再回到所述起始點的行程； 基于一個移動周期內所述信號接收器的位置信息確定所述定向器是否異常，包括： 若在所述一個往返行程內，所述信號接收器兩次初始接收到所述光信號的位置相同、所述信號接收器兩次接收到全部光信號的位置相同，以及所述信號接收器兩次到達所述晶圓的位置相同，則確定所述定向器未發生異常； 基于所述第一光強與所述第二光強確定所述定向器是否異常，包括： 若所述信號接收器在所述電機的驅動下，位于所述晶圓的最上端位置時，所述信號接收器接收的第二光強等于所述第一光強，則確定所述定向器未發生異常。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人杭州富芯半導體有限公司，其通訊地址為：310051 浙江省杭州市濱江區西興街道聯慧街6號1-1301；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。