買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網獲悉株式會社斯庫林集團申請的專利襯底處理裝置及襯底處理方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN118248589B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202311791912.0，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權襯底處理裝置及襯底處理方法是由岡田吉文;沖田展彬;中村一樹設計研發完成，并于2023-12-22向國家知識產權局提交的專利申請。

本襯底處理裝置及襯底處理方法在說明書摘要公布了：本發明涉及一種襯底處理裝置及襯底處理方法。本發明是利用上側保持裝置保持襯底的外周端部，使用下表面刷將該襯底的下表面中央區域洗凈。在該洗凈時，處于上側保持裝置下方的下側保持裝置的吸附保持部旋轉。將由上側保持裝置保持的襯底交遞到下側保持裝置的吸附保持部。由吸附保持部保持的襯底的下表面外側區域被洗凈。在將襯底的下表面中央區域洗凈后，到襯底被交遞給下側保持裝置的吸附保持部為止的期間，下側保持裝置的吸附保持部的旋轉停止。另外，通過基座裝置使吸附保持部沿水平方向移動。以動作期間的至少一部分重疊的方式進行吸附保持部的旋轉停止動作及吸附保持部的水平移動動作。

本發明授權襯底處理裝置及襯底處理方法在權利要求書中公布了：1.一種襯底處理裝置，具備： 第1襯底保持部，保持襯底的周緣部； 第2襯底保持部，構成為能夠在比所述第1襯底保持部更靠下方的位置保持襯底的下表面中央區域； 旋轉驅動部，使所述第2襯底保持部繞上下方向的軸旋轉； 刷洗凈部，構成為能夠使刷與由所述第1襯底保持部保持的襯底的所述下表面中央區域接觸而將該下表面中央區域洗凈，且能夠使所述刷與由所述第2襯底保持部保持的襯底的包圍所述下表面中央區域的下表面外側區域接觸而將該下表面外側區域洗凈； 水平移動部，進行改變所述第1襯底保持部與所述第2襯底保持部的水平面內的相對位置關系的水平移動動作；以及 控制部；且 所述控制部 在對襯底進行洗凈處理的時候，通過控制所述第1襯底保持部、所述第2襯底保持部、所述旋轉驅動部、所述刷洗凈部及所述水平移動部，而 一邊使所述第2襯底保持部旋轉，一邊利用所述刷洗凈部將由所述第1襯底保持部保持的所述襯底的所述下表面中央區域洗凈， 在將所述襯底的所述下表面中央區域洗凈后，使所述第2襯底保持部停止旋轉，以便將所述襯底從所述第1襯底保持部交遞到所述第2襯底保持部， 在將所述襯底的所述下表面中央區域洗凈后，使所述水平移動部進行所述水平移動動作，以便將所述襯底從所述第1襯底保持部交遞到所述第2襯底保持部， 將所述襯底從所述第1襯底保持部交遞到所述第2襯底保持部之后，一邊使所述第2襯底保持部旋轉，一邊利用所述刷洗凈部將由所述第2襯底保持部保持的所述襯底的所述下表面外側區域洗凈， 在將所述襯底的所述下表面中央區域洗凈之后到所述襯底被交遞給所述第2襯底保持部為止的期間，以所述第2襯底保持部的旋轉停止動作的期間與所述水平移動動作的期間的至少一部分重疊的方式，進行所述旋轉停止動作及所述水平移動動作。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社斯庫林集團，其通訊地址為：日本京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。