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龍圖騰網(wǎng)獲悉廣東省大灣區(qū)集成電路與系統(tǒng)應(yīng)用研究院申請的專利一種通孔橋連缺陷概率的計算方法及裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN117608172B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202311792601.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權(quán)一種通孔橋連缺陷概率的計算方法及裝置是由蘇曉菁;韋亞一;李靜靜;粟雅娟設(shè)計研發(fā)完成，并于2023-12-22向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種通孔橋連缺陷概率的計算方法及裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種通孔橋連缺陷概率的計算方法及裝置，通孔橋連缺陷概率的計算方法包括：獲取雙重曝光工藝下兩層光刻掩膜版圖的第一通孔和第二通孔，第一通孔的位置在套刻誤差范圍內(nèi)沿預(yù)設(shè)方向波動，固定第二通孔的位置；劃分第一通孔和第二通孔的位置關(guān)系；計算每一位置關(guān)系中第一通孔和第二通孔之間的距離；獲取雙重曝光工藝下橋連缺陷的閾值距離；根據(jù)閾值距離和每一位置關(guān)系中第一通孔和第二通孔之間的距離，確定不同位置關(guān)系中的安全區(qū)間；根據(jù)套刻誤差的高斯概率密度分布和不同位置關(guān)系中的安全區(qū)間，確定發(fā)生通孔橋連缺陷的概率。本發(fā)明可以快速、準確的計算通孔橋連缺陷的概率。

本發(fā)明授權(quán)一種通孔橋連缺陷概率的計算方法及裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種通孔橋連缺陷概率的計算方法，其特征在于，包括： 獲取雙重曝光工藝下兩層光刻掩膜版圖的第一通孔和第二通孔，所述第一通孔的位置在套刻誤差范圍內(nèi)沿預(yù)設(shè)方向波動，固定所述第二通孔的位置；其中，所述第一通孔為第一層光刻掩膜版圖的通孔圖形，所述第二通孔為第二層光刻掩膜版圖的通孔圖形； 劃分所述第一通孔和所述第二通孔的位置關(guān)系； 獲取雙重曝光工藝下橋連缺陷的閾值距離； 根據(jù)所述閾值距離與每一位置關(guān)系中所述第一通孔和所述第二通孔之間的最小距離，確定每一位置關(guān)系中所述最小距離大于所述閾值距離的位置點； 根據(jù)每一位置關(guān)系中所述最小距離大于所述閾值距離的位置點，確定不同位置關(guān)系中的安全區(qū)間； 根據(jù)套刻誤差的高斯概率密度分布和不同位置關(guān)系中的安全區(qū)間，確定發(fā)生通孔橋連缺陷的概率。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人廣東省大灣區(qū)集成電路與系統(tǒng)應(yīng)用研究院，其通訊地址為：510535 廣東省廣州市開發(fā)區(qū)開源大道136號A棟；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。