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龍圖騰網(wǎng)獲悉佛山易事達電容材料有限公司申請的專利一種基于光學測量的金屬薄膜尺寸測量方法及系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119618063B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202411866322.4，技術領域涉及：G01B11/00；該發(fā)明授權(quán)一種基于光學測量的金屬薄膜尺寸測量方法及系統(tǒng)是由鐘秀珍;龐浩榮;梁紅蘭設計研發(fā)完成，并于2024-12-18向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種基于光學測量的金屬薄膜尺寸測量方法及系統(tǒng)在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及光學測量技術領域，公開了一種基于光學測量的金屬薄膜尺寸測量方法及系統(tǒng)，包括：通過多波長激光器照射金屬薄膜，產(chǎn)生干涉信號；對入射光線的波長進行注意力的調(diào)制，通過滑動時間窗口分別對不同波長的注意力進行調(diào)整；在每個時間窗口中得到干涉條紋，并根據(jù)所述干涉條紋得到每個時間窗口的測量結(jié)果；根據(jù)所述時間窗口的測量結(jié)果進行聚類選擇，利用選擇結(jié)果進行重新測量，得到最終的測量結(jié)果。能夠有效提高金屬薄膜尺寸的測量精度和穩(wěn)定性。通過動態(tài)調(diào)整不同波長的注意力，結(jié)合聚類選擇與重新測量過程選擇到對參數(shù)敏感的波長，保證了最終測量結(jié)果的可靠性，滿足了現(xiàn)代精密制造和質(zhì)量控制對薄膜尺寸測量的高要求。

本發(fā)明授權(quán)一種基于光學測量的金屬薄膜尺寸測量方法及系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基于光學測量的金屬薄膜尺寸測量方法，其特征在于，包括： 通過多波長激光器照射金屬薄膜，產(chǎn)生干涉信號； 對入射光線的波長進行注意力的調(diào)制，通過滑動時間窗口分別對不同波長的注意力進行調(diào)整； 在每個時間窗口中得到干涉條紋，并根據(jù)所述干涉條紋得到每個時間窗口的測量結(jié)果； 根據(jù)所述時間窗口的測量結(jié)果進行聚類選擇，利用選擇結(jié)果進行重新測量，得到最終的測量結(jié)果； 所述對入射光線的波長進行注意力的調(diào)制包括，對N個不同波長的分析結(jié)果進行加權(quán)； 隨機從N個不同波長的干涉信號中，選取一個波長設為m； 得到每個波長的激光產(chǎn)生的干涉條紋圖樣后，將每個波長對應的所述干涉條紋圖樣進行解析，對每個波長的解析結(jié)果進行集成； 在集成時，對波長m對應的解析結(jié)果進行注意力加權(quán)處理； 其中，解析過程包括，通過對干涉條紋的邊緣位置和形態(tài)進行表面擬合，得到薄膜的表面形態(tài)特征；利用干涉條紋的間距、薄膜的厚度、折射率、入射角、光波的波長進行計算，得到厚度信息； 所述通過滑動時間窗口分別對不同波長的注意力進行調(diào)整包括，設固定的時間窗口長度，每個時間窗口都隨機選取一個波長，使其對應的解析結(jié)果進行注意力加權(quán)處理； 在選取波長時的約束為：連續(xù)的N個時間窗口中，選擇的波長均不相同； 所述每個時間窗口的測量結(jié)果包括，對每個時間窗口中，N個波長對應的所述解析結(jié)果進行加權(quán)；設，表示權(quán)重系數(shù)，若n對應未加權(quán)的波長對應的解析結(jié)果，則；若n對應加權(quán)的波長對應的解析結(jié)果，則；M表示加權(quán)系數(shù)，且M＞2；i∈{C，K，G}，C表示金屬薄膜的長，K表示金屬薄膜的寬，G表示金屬薄膜的厚度； 針對每一個金屬薄膜的參數(shù)i，按照權(quán)重系數(shù)復制被加權(quán)的波長對應的解析結(jié)果為M個，與其他N-1個波長對應的解析結(jié)果構(gòu)成參數(shù)集合，作為所述測量結(jié)果； 根據(jù)所述時間窗口的測量結(jié)果進行聚類選擇包括，從當前的時間序列中，向前獲取連續(xù)的N個時間窗口，在任意一個時間窗口中，針對每一個金屬薄膜的參數(shù)i，分別進行聚類選擇； 所述聚類選擇包括，對所述測量結(jié)果進行聚類，若只有一個聚類中心，則判斷當前窗口注意力加權(quán)的波長，對于金屬薄膜參數(shù)i的測量結(jié)果滿足判據(jù)；反之，則判斷不滿足判據(jù)； 所述重新測量包括，在N個不同的波長中，去除不滿足判據(jù)的波長k條，若剩余的波長數(shù)量小于N2，則隨機選取k條其他波長，在滑動時間窗口對重新選擇的波長進行干涉條紋的解析和聚類選擇，直至去除不滿足判據(jù)的波長后，剩余的波長不小于N2為止；得到滿足判據(jù)的波長對應關于參數(shù)i的解析結(jié)果，進行輸出； 其中，所述k條其他波長，不包含已去除的波長；所述重新選擇的波長包括，剩余滿足判據(jù)的波長和新增的k條其他波長。

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